[發(fā)明專利]一種晶圓級封裝微球自動供球裝置

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• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN111703854A
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉勁松;郭儉;張金志;劉偉;楊帆
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微松工業(yè)自動化有限公司
• 主分類號: B65G47/14
• 分類號: B65G47/14
• 代理公司: 北京天盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11421
• 代理人: 史煒煒

本發(fā)明專利涉及芯片封裝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種晶圓級封裝微球自動供球裝置，包括支架、平臺、豎板和微球桶，所述支架栓接在平臺的頂部，所述豎板栓接在平臺的底部，所述支架的正面栓接有升降滑臺氣缸，所述升降滑臺氣缸滑臺的正面栓接有安裝板；本發(fā)明專利通過升降滑臺氣缸、安裝板、微球桶、固定架、卡槽、滑動機(jī)構(gòu)、軟管、固定機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向桿、硬管、固定塊、平移滑臺氣缸和回收器的設(shè)置，該裝置具有結(jié)構(gòu)簡單和成本低廉的優(yōu)點(diǎn)，其能夠?qū)┣虻臄?shù)量進(jìn)行把控，且能夠?qū)堄嗟奈⑶蜻M(jìn)行回收，提高了該裝置經(jīng)濟(jì)性和實(shí)用性，解決了現(xiàn)有的一些供球裝置造價(jià)過于昂貴，且難以對供球的數(shù)量進(jìn)行把控的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明專利涉及芯片封裝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓級封裝微球自動供球裝置。

背景技術(shù)

晶圓級植球機(jī)是一種高端半導(dǎo)體芯片封裝設(shè)備，用于將微球(按材質(zhì)可分為錫球、金球等多種)精準(zhǔn)地放置到已經(jīng)涂抹助焊劑的晶圓上。微球的自動供球是晶圓級植球機(jī)的關(guān)鍵技術(shù)之一，目前晶圓級植球機(jī)使用的球徑一般在70μm～300μm，且已出現(xiàn)直徑65μm的微球并有進(jìn)一步微小化的趨勢，這對微球的自動供球提出了更高的要求。

傳統(tǒng)的供球裝置有振動盤供球和翻轉(zhuǎn)傾倒式供球等方式。振動盤供球需要制作一個布滿真空吸孔的治具，真空吸孔與晶圓上電路凸點(diǎn)一一對應(yīng)，安裝在該治具的植球頭在振動盤上方通過真空吸附微球，然后將微球放置到晶圓對應(yīng)位置，對于12寸或以上尺寸的晶圓，一次植球的數(shù)量在百萬級別，該治具的制作費(fèi)用高昂到難以承受，而翻轉(zhuǎn)傾倒式供球也存在著供球過于集中以及供球數(shù)量難以把控等缺陷，為此我們提出一種結(jié)構(gòu)簡單，且成本低廉，并能夠?qū)┣蜻M(jìn)行把控的供球裝置來解決此問題。

發(fā)明專利內(nèi)容

本發(fā)明專利的目的在于提供一種晶圓級封裝微球自動供球裝置，其具備結(jié)構(gòu)簡單和成本低廉，并能夠?qū)┣蜻M(jìn)行把控的優(yōu)點(diǎn)，解決了現(xiàn)有的一些供球裝置造價(jià)過于昂貴，且難以對供球的數(shù)量進(jìn)行把控的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明專利提供如下技術(shù)方案：一種晶圓級封裝微球自動供球裝置，包括支架、平臺、豎板和微球桶，所述支架栓接在平臺的頂部，所述豎板栓接在平臺的底部，所述支架的正面栓接有升降滑臺氣缸，所述升降滑臺氣缸滑臺的正面栓接有安裝板，所述安裝板的正面栓接有固定架，所述固定架的頂部開設(shè)有卡槽，且微球桶的表面與卡槽的內(nèi)壁滑動連接，所述安裝板后方的左右兩側(cè)均設(shè)置有滑動機(jī)構(gòu)，所述固定架的前后兩側(cè)均設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)，所述微球桶底部的出口連通有軟管，所述軟管遠(yuǎn)離微球桶的一端連通有硬管，所述支架正面右側(cè)的下方栓接有導(dǎo)向桿，且軟管與導(dǎo)向桿頂部的表面滑動連接，所述平臺頂部的右側(cè)栓接有固定塊，所述豎板右側(cè)的下方栓接有平移滑臺氣缸，所述平移滑臺氣缸滑臺的右側(cè)栓接有回收器，且硬管的右端貫穿固定塊并延伸至回收器的上方。

優(yōu)選的，所述滑動機(jī)構(gòu)包括連接桿、豎槽和滑塊，所述連接桿的前后兩端分別與安裝板和滑塊栓接，所述滑塊與豎槽的內(nèi)壁滑動連接，且豎槽開設(shè)在支架的正面。

優(yōu)選的，所述滑塊的左右兩側(cè)均開設(shè)有凹槽，所述凹槽的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有滑輪，且滑輪與豎槽的內(nèi)壁滾動連接。

優(yōu)選的，所述固定機(jī)構(gòu)包括旋鈕螺栓、橡膠觸頭和螺紋槽，所述螺紋槽的數(shù)量為2個并分別開設(shè)在固定架的前后兩側(cè)，所述旋鈕螺栓與螺紋槽的內(nèi)壁螺紋連接，所述橡膠觸頭固定安裝在旋鈕螺栓靠近微球桶的一端。

優(yōu)選的，所述橡膠觸頭的截面面積小于旋鈕螺栓的截面面積，所述橡膠觸頭與螺紋槽的內(nèi)壁之間存有間隙。

優(yōu)選的，所述微球桶的頂部連通有漏斗，所述漏斗表面的上方螺紋連接有封閉蓋。

優(yōu)選的，所述微球桶為無色透明的防靜電塑料制成，所述軟管為無色透明防靜電聚氨酯材料制成。

優(yōu)選的，所述固定架的左右兩側(cè)均栓接有固定件，所述固定件的表面貫穿設(shè)置有檢測傳感器，所述支架頂部的右側(cè)安裝有報(bào)警燈，所述檢測傳感器與報(bào)警燈相互配合使用。