[發明專利]用于將物理層與通過多重圖案化形成的圖案對齊的方法和相關聯系統

有效

• 申請號: 202010565189.4
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN112446186B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 細川浩平
• 申請（專利權）人: 美光科技公司
• 主分類號: G06F30/392
• 分類號: G06F30/392;G03F9/00;H01L21/68
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 王龍

1.一種將物理層與圖案對齊的方法，所述方法包括：

確定用于通過多重圖案化形成圖案的第一層與第二層之間的未對齊向量；

基于所述第一層與所述第二層之間的所述未對齊向量計算所述圖案的中心位置；以及

將第三層與所述圖案的所述中心位置對齊。

2.根據權利要求1所述的方法，其中確定所述未對齊向量包括確定包括有效線層的所述第一層與包括有效切斷層的所述第二層之間的所述未對齊向量。

3.根據權利要求1所述的方法，其中計算所述圖案的所述中心位置包括計算有效區域圖案的中心位置。

4.根據權利要求1所述的方法，其中將所述第三層與所述圖案的所述中心位置對齊包括將數位線、位觸點和字線之一與所述圖案的所述中心位置對齊。

5.根據權利要求1所述的方法，其中對齊包括基于兩個或兩個以上未對齊向量將所述第三層與所述圖案的所述中心位置對齊，所述兩個或兩個以上未對齊向量包含所述第一層與所述第二層之間的所述未對齊向量以及所述第三層與所述第一層之間的未對齊向量和所述第三層與所述第二層之間的未對齊向量中的至少一個未對齊向量。

6.根據權利要求5所述的方法，其中基于所述兩個或兩個以上未對齊向量將所述第三層與所述圖案的所述中心位置對齊包括：

將所述兩個或兩個以上未對齊向量中的每個未對齊向量乘以相關聯的變換矩陣；

對乘法的乘積求和，以產生所述第三層與所述圖案的所述中心位置之間的配準向量；以及

基于所述配準向量將所述第三層與所述圖案的所述中心位置對齊。

7.根據權利要求1所述的方法，其中將所述第三層與所述圖案的所述中心位置對齊包括計算所述第三層與所述圖案的所述中心位置之間的配準向量。

8.根據權利要求1所述的方法，其中計算所述圖案的所述中心位置進一步包括基于與所述第一層和所述第二層相關聯的變換矩陣計算所述圖案的所述中心位置，所述變換矩陣的分量是通過所述第一層的圖案角度和所述第二層的圖案角度中的至少一個圖案角度來確定的。

9.一種將物理層與通過多重圖案化形成的虛擬層對齊的方法，所述方法包括：

通過多重圖案化形成虛擬層；

確定用于形成所述虛擬層的至少兩個物理層之間的位移向量；

基于所述位移向量確定所述虛擬層的中心；

確定第三物理層與所述虛擬層的所述中心之間的配準向量；以及

基于所述配準向量將所述第三物理層與所述虛擬層的中心對齊。

10.根據權利要求9所述的方法，其中確定所述第三物理層與所述虛擬層的所述中心之間的所述配準向量包括基于與所述至少兩個物理層和所述第三物理層相關聯的至少兩個可測量向量來確定所述配準向量。

11.根據權利要求9所述的方法，其中確定所述第三物理層與所述虛擬層的所述中心之間的所述配準向量包括基于兩個或兩個以上位移向量確定所述配準向量，所述兩個或兩個以上位移向量包含至少兩個物理層之間的所述位移向量、所述第三物理層與所述至少兩個物理層中的第一層之間的位移向量以及所述第三物理層與所述至少兩個物理層中的第二層之間的位移向量。

12.根據權利要求9所述的方法，其中確定所述第三物理層與所述虛擬層的所述中心之間的所述配準向量包括基于以下確定所述配準向量：至少兩個物理層之間的所述位移向量以及所述第三物理層與所述至少兩個物理層中的第一層之間的位移向量和所述第三物理層與所述至少兩個物理層中的第二層之間的位移向量中的至少一個位移向量。