[發(fā)明專(zhuān)利]面發(fā)射激光器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010564378.X
• 申請(qǐng)日: 2020-06-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112152082A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 井上大輔
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 住友電氣工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01S5/183
• 分類(lèi)號(hào): H01S5/183
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 高培培;趙晶

1.一種面發(fā)射激光器，具有：

基板；

下部接觸層，設(shè)置在所述基板上；

半導(dǎo)體層的臺(tái)面，該半導(dǎo)體層的臺(tái)面在所述下部接觸層上依次層疊有下部反射鏡層、有源層、上部反射鏡層和上部接觸層；

圓環(huán)狀的電極，設(shè)置在所述上部接觸層上；及

光出射窗，射出所述電極的圓環(huán)的內(nèi)側(cè)的激光，

所述上部反射鏡層具有：第一區(qū)域，包含所述電極及所述光出射窗的正下方；及第二區(qū)域，包含設(shè)置有所述第一區(qū)域的所述臺(tái)面內(nèi)的所述第一區(qū)域的周?chē)氨人雠_(tái)面靠外側(cè)的區(qū)域，

所述第一區(qū)域的質(zhì)子的濃度比所述第二區(qū)域的質(zhì)子的濃度低。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的面發(fā)射激光器，其中，

在所述上部反射鏡層摻雜有碳作為雜質(zhì)元素，

在所述第二區(qū)域，質(zhì)子的濃度比碳的濃度高。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的面發(fā)射激光器，其中，

在所述第一區(qū)域，質(zhì)子的濃度比碳的濃度低。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的面發(fā)射激光器，其中，

所述第二區(qū)域中的質(zhì)子的濃度為1×10¹⁸·cm^-3以上且1×10²⁰·cm^-3以下。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的面發(fā)射激光器，其中，

所述面發(fā)射激光器具有：

第一電極焊盤(pán)，與所述上部接觸層連接；及

第二電極焊盤(pán)，與所述下部接觸層連接，

所述第一電極焊盤(pán)及所述第二電極焊盤(pán)設(shè)置在所述第二區(qū)域上。