[發明專利]沉積源

在審

• 申請號: 202010558692.7
• 申請日: 2020-06-18
• 公開（公告）號: CN112779502A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 吳守賢;魯碩原;樸國喆
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 車玉珠;康泉

本發明提供沉積源。沉積源包括：坩鍋，沿一方向延伸且上側開放；蓋板，與坩堝結合且遮蔽坩堝的開放部分；及至少一個噴嘴組，包括與蓋板結合且沿坩堝的延伸方向排列的多個單元噴嘴，各單元噴嘴包括：位于上側的第一吐出口；及第一噴嘴流路，連接第一吐出口和坩堝且由單元噴嘴側壁包圍，第一噴嘴流路包括：位于下部的第一下端部；及第一上端部，與第一下端部連接且位于第一下端部的上部，第一下端部具有均勻的寬度，越靠近第一吐出口時，第一上端部的寬度會變得越寬，單元噴嘴側壁包括：第一外側壁，設置在第一最外圍單元噴嘴的一側；第二外側壁，設置在第二最外圍單元噴嘴的另一側；及共用側壁，設置在相鄰的單元噴嘴之間。

技術領域

本發明涉及一種沉積裝置及利用該沉積裝置的有機發光顯示裝置的制造方法。

背景技術

有機發光顯示裝置是一種利用如下現象的顯示裝置：從陰極(Cathode)注入的電子(Electron)和從陽極(Anode)注入的空穴(Hole)在有機薄膜中復合而形成激子，并且通過來自所形成的激子的能量產生特定波長的光。

在有機發光顯示裝置中，可使用真空沉積法作為沉積有機物或用作電極的金屬等的方法。通過如下方法執行真空沉積法：在真空腔室內部設置待形成有機薄膜的基板，并且使具有與待形成的薄膜等的圖案相同的圖案的掩模組件緊貼之后，利用沉積源使如有機物的沉積物質蒸發或升華并沉積在基板上。

從沉積源噴射出的沉積物質可以向各種方向擴散。經過掩模組件的透過部沉積在基板上的沉積物質可以形成具有與透過部的面積不同的面積的圖案。

在形成于基板的沉積圖案中，可能發生邊緣的沉積厚度小于中央部分的沉積厚度的陰影現象。這種陰影現象可能因掩模組件的突出部分阻斷沉積物質的路徑而發生。在發生陰影現象時，沉積物質的圖案可能與設計圖案不同，并且可能因發生發光程度變弱的問題而無法制造品質均勻的顯示裝置。

發明內容

本發明所要解決的問題是提供一種沉積裝置及利用該沉積裝置的有機發光顯示裝置的制造方法，該沉積裝置通過使陰影現象最小化來提供提高的沉積均勻度及沉積效率。

本發明的問題不限于上面提到的技術問題，本領域技術人員將可以從以下記載清楚地理解未提到的其他技術問題。

用于解決上述問題的一實施例的沉積源包括：坩鍋，沿一方向延伸且上側開放；蓋板，與所述坩堝結合，用于遮蔽所述坩堝的開放部分；以及至少一個噴嘴組，包括與所述蓋板結合且沿所述坩堝的延伸方向排列的多個單元噴嘴，各個所述單元噴嘴包括：位于上側的第一吐出口；以及第一噴嘴流路，連接所述第一吐出口和所述坩堝且由單元噴嘴側壁包圍，所述第一噴嘴流路包括：位于下部的第一下端部；以及第一上端部，與所述第一下端部連接且位于所述第一下端部的上部，所述第一下端部具有均勻的寬度，越靠近所述第一吐出口時，所述第一上端部的寬度會變得越寬，所述單元噴嘴側壁包括：第一外側壁，被設置在第一最外圍單元噴嘴的一側，所述第一最外圍單元噴嘴為所述噴嘴組內的所述多個單元噴嘴中的位于一個外側的單元噴嘴；第二外側壁，被設置在第二最外圍單元噴嘴的另一側，所述第二最外圍單元噴嘴為所述多個單元噴嘴中的位于另一外側的單元噴嘴；以及共用側壁，被設置在相鄰的所述單元噴嘴之間。

所述噴嘴組內的所述多個單元噴嘴可通過所述共用側壁成為一體。

所述沉積源可進一步包括與所述蓋板結合的多個孤立噴嘴，所述孤立噴嘴包括：位于上側的第二吐出口；以及第二噴嘴流路，連接所述第二吐出口和所述坩堝且由孤立噴嘴側壁包圍，各個所述孤立噴嘴的所述孤立噴嘴側壁與其他孤立噴嘴的所述孤立噴嘴側壁及所述噴嘴組的所述單元噴嘴側壁相隔開。

所述第二噴嘴流路可包括：位于下部的第二下端部；以及第二上端部，與所述第二下端部連接且位于所述第二下端部的上部，所述第二下端部具有均勻的寬度，越靠近所述第二吐出口時，所述第二上端部的寬度會變得越寬。