[發明專利]充裝高純鹵素混配氣鋼瓶內壁的處理方法

有效

• 申請號: 202010557383.8
• 申請日: 2020-06-16
• 公開（公告）號: CN111618666B
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發明（設計）人: 胡新明;祝恩福
• 申請（專利權）人: 岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00;B24B31/02;B24C1/08;C09G1/02;B08B9/093
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充裝高純鹵素混配氣鋼瓶內壁的處理方法，由下列順次步驟構成：通過真空裝置的抽吸頭將鋼瓶內的殘留物抽吸干凈，通過噴砂裝置的噴砂頭向鋼瓶內壁噴射鋼球，通過使鋼瓶內的拋光物料進行轉動對鋼瓶內壁進行拋光，用去離子水沖洗鋼瓶內壁，用干燥的空氣吹掃鋼瓶內壁，將一瓶口閥安裝在鋼瓶瓶口上，對鋼瓶內腔抽真空。采用該處理方法處理后的充裝高純鹵素混配氣鋼瓶的內壁的粗糙度Ra小于0.4微米，取得了意想不到的技術效果。

技術領域

本發明涉及充裝氣體鋼瓶內壁的處理，具體涉及充裝高純鹵素混配氣鋼瓶內壁的處理方法。

背景技術

電子級的高純氟基準分子激光混配氣廣泛作為半導體芯片的光刻氣及醫療眼科準分子激光手術用氣，氯化氫基準分子激光混配氣主要用于OLED的退火淬火工藝。氟氣是最活躍的氧化劑，幾乎和所有的物質都進行反應，氯化氫具有強腐蝕性，因此這類鹵素混配氣對于充裝鋼瓶有特殊的要求。未經過拋光的鋼瓶內壁粗糙，各種雜質如水分被粗糙的鋼瓶內壁吸附，與這類鹵素混配氣中的氟組分或者氯化氫組分進行反應，生成更多的雜質，嚴重影響這類鹵素混配氣的純度，因此用于充裝高純鹵素混配氣體的鋼瓶內壁必須進行處理。

目前尚未發現充裝高純鹵素混配氣鋼瓶內壁的處理技術。

發明內容

本發明要提供充裝高純鹵素混配氣鋼瓶內壁的處理方法。

本發明提供的1、充裝高純鹵素混配氣鋼瓶內壁的處理方法，其特征在于，由下列順序步驟構成：

步驟1.將一光學檢查燈經要充裝高純鹵素混配氣的鋼瓶瓶口，包括新鋼瓶和至少使用過一次的鋼瓶，伸入鋼瓶的內腔，通過鋼瓶瓶口肉眼查看鋼瓶內壁是否有殘渣、微小水滴等殘留物，啟動一真空裝置，通過真空裝置的抽吸頭將殘留物抽吸干凈，然后停止真空裝置；

步驟2.將經步驟1處理后的鋼瓶固定在一噴砂裝置的噴砂轉筒上，啟動噴砂裝置，鋼瓶與噴砂轉筒一起轉動，通過噴砂裝置的噴砂頭向鋼瓶內壁連續噴射直徑為0.8毫米至直徑為1.2毫米的鋼球，持續13分鐘至18分鐘，去除鋼瓶內壁的銹蝕，然后停止噴砂裝置，從噴砂轉筒上卸下鋼瓶，將直徑為0.8毫米至直徑為1.2毫米的鋼球和銹渣從鋼瓶內倒出；

步驟3.將拋光物料裝入經步驟2處理后的鋼瓶內，拋光物料的體積為鋼瓶容積的75％至85％，對鋼瓶瓶口進行密封，將密封后的鋼瓶固定在一拋光裝置的拋光轉筒上，啟動拋光裝置，鋼瓶與拋光轉筒一起首先按第一轉向轉動4小時，然后按第二轉向轉動4小時，最后按第一轉向轉動4小時，拋光轉筒和鋼瓶的轉速為20轉/分鐘至30轉/分鐘，通過拋光物料去除鋼瓶內壁上的金屬銹蝕物和金屬毛刺，打磨鋼瓶內壁，使其達到光潔度的要求，通過拋光物料脫除鋼瓶內壁上的油脂，然后停止拋光裝置，從拋光轉筒上卸下鋼瓶，將拋光物料及金屬銹蝕物和金屬毛刺粉末和油污從鋼瓶內倒出；

拋光物料組成如下：

(1)拋光劑

拋光劑由下列材料構成：

①氫氧化鈉：20(質量)％至30(質量)％；

②氫氧化鉀：10(質量)％至20(質量)％；

③壬基酚聚氧乙烯醚：0.1(質量)％至0.8(質量)％；

④作溶劑用去離子水：50(質量)％至65(質量)％；

(2)拋光粉

拋光粉由下列材料構成：

①碳酸鈉：50(質量)％至60(質量)％；

②偏硅酸鈉：10(質量)％至20(質量)％；

③氫氧化鈉：5(質量)％至15(質量)％；

④亞硝酸鈉：5(質量)％至10(質量)％；