[發明專利]一種便攜式變溫樣品臺裝置

在審

• 申請號: 202010556472.0
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN111501002A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 馬毅;吳伊帆;謝續友;黃先偉;俞越翎;張泰華
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/54
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

本發明公開了一種便攜式變溫樣品臺裝置，包括樣品臺腔體、設置在樣品臺腔體頂部樣品臺上底面及設置在樣品臺腔體底部的樣品臺下底面，所述樣品臺腔體內部在位于樣品臺下底面內側貼合設置溫度調節裝置，所述樣品臺腔體內部在位于溫度調節裝置上方設有冷卻裝置，所述樣品臺上底面頂部設有樣品臺固定裝置，并通過樣品臺固定裝置與真空鍍膜機相固定，所述樣品臺下底面底部設有樣品緊固裝置，并通過樣品緊固裝置對樣品基材進行固定。本發明的有益效果是：該裝置設計巧妙，結構合理，使用方便，運用本裝置為樣品進行溫度調節，方便滿足了不同基材對鍍膜時溫度的需求，擴大了真空鍍膜機所能加工的的樣品種類范圍。

技術領域

本發明涉及真空鍍膜技術領域，具體涉及一種便攜式變溫樣品臺裝置。

背景技術

真空鍍膜技術（vacuum deposition）是一種新穎的材料合成與加工的新技術，是表面工程技術領域的重要組成部分，為科學研究和實際生產提供薄膜制備的一種新工藝。真空鍍膜相對于濕式鍍膜方法而言，提高了薄膜的結合能力，能更好地控制好薄膜的均勻程度和薄膜的厚度，并且減少了對環境的污染，隨著真空鍍膜技術的不斷發展，不同材料對鍍膜加工時候的溫度需求也在不斷變化，但是目前一直沒有一種便攜式低溫或者升溫樣品臺來解決該類問題，為此該發明提供了一種解決方案思路，基于半導體制冷的便攜式樣品臺。

發明內容

為了解決現有技術中存在的問題，本發明提供了結構設計合理的一種便攜式變溫樣品臺裝置。

本發明的技術方案如下：

一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，包括樣品臺腔體、設置在樣品臺腔體頂部樣品臺上底面及設置在樣品臺腔體底部的樣品臺下底面，所述樣品臺腔體內部在位于樣品臺下底面內側貼合設置溫度調節裝置，所述樣品臺腔體內部在位于溫度調節裝置上方設有冷卻裝置，所述樣品臺上底面頂部設有樣品臺固定裝置，并通過樣品臺固定裝置與真空鍍膜機相固定，所述樣品臺下底面底部設有樣品緊固裝置，并通過樣品緊固裝置對樣品基材進行固定。

所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述溫度調節裝置采用加熱裝置，所述加熱裝置包括硅膠電熱片及導熱硅膠，所述硅膠電熱片通過導熱硅膠與樣品臺下底面固定。

所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述溫度調節裝置采用降溫裝置，所述降溫裝置包括導體制冷片及導熱硅膠，所述半導體制冷片的冷面通過導熱硅膠和樣品臺下底面相固定。

所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品緊固裝置包括螺桿、限位板及螺母，所述螺桿膠合設置在樣品臺下底面上，所述限位板套設在螺桿上，所述螺母配合設置在螺桿上，且通過螺母能夠對限位板與樣品臺下底面之間進行調節。

所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品臺固定裝置包括固定圓盤，所述固定圓盤膠合設置在樣品臺上底面，通過固定圓盤使得該樣品臺與真空鍍膜機相固定。

所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述冷卻裝置包括水冷管及水冷管固定支架，所述水冷管通過水冷管固定支架固定設置在樣品臺腔體內。

所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品臺腔體外壁上開設有導線導管孔，所述溫度調節裝置通過導線導管孔與外界電源相連，所述水冷管的管口通過導線導管孔與真空鍍膜機的水冷機相連。

所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品臺下底面頂部固定設置溫度傳感器。

本發明的有益效果是：該裝置設計巧妙，結構合理，使用方便，運用本裝置為樣品進行溫度調節，方便滿足了不同基材對鍍膜時溫度的需求，擴大了真空鍍膜機所能加工的的樣品種類范圍，對真空鍍膜的研究領域具有重要的意義。

附圖說明

圖1為本發明的整體結構正面結構示意圖；