[發明專利]一種便攜式變溫樣品臺裝置

在審

• 申請號: 202010556472.0
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN111501002A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 馬毅;吳伊帆;謝續友;黃先偉;俞越翎;張泰華
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/54
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

1.一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，包括樣品臺腔體（4）、設置在樣品臺腔體（4）頂部樣品臺上底面（13）及設置在樣品臺腔體（4）底部的樣品臺下底面（8），所述樣品臺腔體（4）內部在位于樣品臺下底面（8）內側貼合設置溫度調節裝置，所述樣品臺腔體（4）內部在位于溫度調節裝置上方設有冷卻裝置，所述樣品臺上底面（13）頂部設有樣品臺固定裝置，并通過樣品臺固定裝置與真空鍍膜機相固定，所述樣品臺下底面（8）底部設有樣品緊固裝置，并通過樣品緊固裝置對樣品基材進行固定。

2.根據權利要求1所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述溫度調節裝置采用加熱裝置，所述加熱裝置包括硅膠電熱片（10）及導熱硅膠（9），所述硅膠電熱片（10）通過導熱硅膠（9）與樣品臺下底面（8）固定。

3.根據權利要求1所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述溫度調節裝置采用降溫裝置，所述降溫裝置包括半導體制冷片（11）及導熱硅膠（9），所述半導體制冷片（11）的冷面通過導熱硅膠（9）和樣品臺下底面（8）相固定。

4.根據權利要求1所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品緊固裝置包括螺桿（1）、限位板（2）及螺母（3），所述螺桿（1）膠合設置在樣品臺下底面（8）上，所述限位板（2）套設在螺桿（1）上，所述螺母（3）配合設置在螺桿（1）上，且通過螺母（3）能夠對限位板（2）與樣品臺下底面（8）之間進行調節。

5.根據權利要求1所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品臺固定裝置包括固定圓盤（6），所述固定圓盤（6）膠合設置在樣品臺上底面（13），通過固定圓盤（6）使得該樣品臺與真空鍍膜機相固定。

6.根據權利要求1所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述冷卻裝置包括水冷管（12）及水冷管固定支架（14），所述水冷管（12）通過水冷管固定支架（14）固定設置在樣品臺腔體（4）內。

7.根據權利要求6所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品臺腔體（4）外壁上開設有導線導管孔（5），所述溫度調節裝置通過導線導管孔（5）與外界電源相連，所述水冷管（12）的管口通過導線導管孔（5）與真空鍍膜機的水冷機相連。

8.根據權利要求1所述的一種便攜式變溫樣品臺裝置，其特征在于，所述樣品臺下底面（8）頂部固定設置溫度傳感器（7）。