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[發明專利]一種三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體及其制備方法在審

專利信息
申請號: 202010550493.1 申請日: 2020-06-16
公開(公告)號: CN111777532A 公開(公告)日: 2020-10-16
發明(設計)人: 賀寶元;傅志偉;邵嚴亮;劉司飛;李遲 申請(專利權)人: 徐州博康信息化學品有限公司
主分類號: C07C311/04 分類號: C07C311/04;C07C311/07;C07C303/38;C07C303/40;G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 221327 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 三氟磺酰胺環 庚烷 光刻 樹脂 單體 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體,其特征在于,所述樹脂單體包括以下結構通式:

其中,R1和R2分別包括C1~C12烷基、雜烷基或連接鍵;R3包括氫、鹵素、C1~C12烷基或雜烷基。

2.根據權利要求1所述的三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體,其特征在于,所述R1和R2分別包括C1~C6烷基或連接鍵,所述R3包括氫或C1~C6烷基。

3.根據權利要求2所述的三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體,其特征在于,所述樹脂單體包括以下結構:

其中所述R3包括氫或C1~C6烷基。

4.一種根據權利要求1-3任一所述的三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

S1,將三氟磺酰類化合物加入到氨基環庚烷醇類化合物和堿混合液中,反應得到三氟磺酰胺環庚烷醇類化合物;

S2,將所述三氟磺酰胺環庚烷醇類化合物與丙烯酸類化合物混合,經過酯化反應,純化得到三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體。

5.根據權利要求4所述的三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體的制備方法,其特征在于,所述氨基環庚烷醇類化合物和三氟磺酰類化合物的摩爾比為1:(1~1.5),三氟磺酰類化合物和堿的摩爾比為1:(1~3);所述三氟磺酰胺環庚烷醇類化合物和丙烯酸類化合物的摩爾比為1:(0.9~1)。

6.根據權利要求5所述的三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體的制備方法,其特征在于,所述氨基環庚烷醇類化合物、三氟磺酰類化合物和堿的摩爾比為1:1:1.5;所述三氟磺酰胺環庚烷醇類化合物和丙烯酸類化合物的摩爾比為1:1。

7.根據權利要求4所述的三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體的制備方法,其特征在于,S1中,所述氨基環庚烷醇類化合物包括以下結構:

8.根據權利要求4所述的三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體的制備方法,其特征在于,S1中,所述三氟磺酰類化合物包括三氟甲基磺酰氯、三氟甲基磺酰氟或三氟甲烷磺酸酐中的一種。

9.根據權利要求4所述的三氟磺酰胺環庚烷類光刻膠樹脂單體的制備方法,其特征在于,S2中,所述丙烯酸類化合物包括丙烯酸酐、丙烯酰氯、甲基丙烯酸酐或甲基丙烯酰氯中的一種。

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