[發明專利]液滴排出方法以及有機EL裝置的制造方法

有效

• 申請號: 202010547401.4
• 申請日: 2016-08-24
• 公開（公告）號: CN111791591B
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發明（設計）人: 酒井寬文;大島澄美
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B41J2/045
• 分類號: B41J2/045;B05D1/26
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;王海奇

本發明提供使排出至開口部的液滴難以向相對于該開口部相鄰的開口部泄漏的液滴排出方法和程序、以及使用了該液滴排出方法的有機EL裝置的制造方法、使用了該液滴排出方法的濾色器的形成方法。本實施方式的液滴排出方法包括：區域設定步驟，在該步驟中，以從與該開口部(105a)在X軸方向上相鄰的開口部的該開口部(105a)側的端部向該開口部(105a)側隔開規定的距離(L)的方式設定該開口部(105a)的著落區域(105e)的端部；以及排出步驟，在該步驟中，使基體與排出頭對置并相對地進行掃描，并使至少一滴液滴從排出頭的噴嘴(52)向著落區域(105e)著落。

本申請是申請人為“東京毅力科創株式會社”、發明名稱為“液滴排出方法以及有機EL裝置的制造方法”、申請日為“2016年8月24日”、申請號為“201610720161.7”這一母案申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及液滴排出方法、實現液滴排出方法的程序、使用了液滴排出方法的有機EL裝置的制造方法以及使用了液滴排出方法的濾色器的形成方法。

背景技術

公知有使用能夠將液體作為液滴排出的噴墨頭，形成例如包括配置于有機電致發光(EL)裝置的像素的發光層的功能層、以及用于液晶顯示裝置的濾色器的著色層的液滴排出法(或者也稱為噴墨法)。

在用于這種功能層、著色層的形成的液滴排出法中，追求利用隔壁包圍形成涂覆膜的區域，并將從噴墨頭排出的液滴可靠地收納于隔壁所圍起的區域，由此形成具有所希望的膜厚的涂覆膜。

例如，在專利文獻1中，公開了以使液滴的中心著落于從顯示用點區域的中心至最近的該顯示用點區域的邊緣為止的距離的大致30％以內的范圍內的方式，使液滴從噴墨頭的噴嘴排出的濾色器基板的制造方法。

若使用這種濾色器基板的制造方法，則著落后的液滴難以越過堤岸(隔壁)向相鄰的區域侵入，從而防止在不同顏色的過濾要素(著色層)間產生混色。

另外，例如，在專利文獻2中，公開了包含液滴著落區域設定工序的圖案膜形成部件的制造方法，在該液滴著落區域設定工序中，相對于由劃分部劃分出的圖案膜形成區域中的液滴的著落允許區域，設定液滴排出頭的移動方向側的第1著落禁止區域、以及液滴排出頭的移動方向的相反的一側的第2著落禁止區域，并且將第1著落禁止區域設定得比第2著落禁止區域寬。

若使用這種圖案膜形成部件的制造方法，則在從液滴排出頭的噴嘴排出液滴時，即便追隨著液滴的主滴的拖尾部、跟隨液滴(微小液滴)等延遲著落，也能夠將液滴收容于欲著落的圖案膜形成區域。換句話說，涂覆于相鄰的圖案膜形成區域的功能液彼此不接觸，能夠減少混色不佳。

專利文獻1：日本特開2004－361491號公報

專利文獻2：日本特開2011－189267號公報

然而，若有機EL裝置、液晶顯示裝置中的像素變得高精細，則由堤岸(劃分部)圍起的膜形成區域變窄而難以高精度地使液滴著落。另外，若在液滴排出頭的移動方向上，劃分相鄰的膜形成區域的堤岸(劃分部)的寬度變窄，則即便如上述專利文獻1、上述專利文獻2那樣設定液滴的著落區域或者著落禁止區域，也會在液滴著落于著落區域時，因其慣性力而液滴形狀增大，因此存在越過堤岸(劃分部)向相鄰的膜形成區域侵入，引發圖案膜的膜厚不均、顏色不均的擔憂。

發明內容

本發明是為了決定上述的課題的至少一部分而產生的，并能夠作為以下方式或者應用例而實現。