[發(fā)明專利]液滴排出方法以及有機EL裝置的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010547401.4
• 申請日: 2016-08-24
• 公開（公告）號: CN111791591B
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 酒井寬文;大島澄美
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: B41J2/045
• 分類號: B41J2/045;B05D1/26
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;王海奇

1.一種液滴排出方法，其特征在于，

在基體上具有在第1方向上經(jīng)由隔壁相鄰的第1開口部和第2開口部、以及在第1方向上經(jīng)由隔壁與所述第2開口部相鄰的第3開口部，

該液滴排出方法包括：

區(qū)域設(shè)定步驟，其中，在所述第1方向上，以從所述第3開口部的所述第2開口部側(cè)的端部向所述第2開口部側(cè)隔開基于應(yīng)當(dāng)形成的液滴的著落直徑而決定的距離L的方式設(shè)定所述第2開口部的著落區(qū)域的一方的端部，并以從所述第1開口部的所述第2開口部側(cè)的端部向所述第2開口部側(cè)隔開所述基于應(yīng)當(dāng)形成的液滴的著落直徑而決定的距離L的方式設(shè)定所述第2開口部的所述著落區(qū)域的另一方的端部，所述液滴的著落直徑是指通過一次掃描而著落的多個液滴合體而形成的合成完畢液滴的最大直徑；以及

排出步驟，其中，使所述基體與排出頭對置并相對地進行掃描，并使多個液滴從所述排出頭的噴嘴向所述著落區(qū)域著落、合成從而形成所述著落直徑的液滴。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴排出方法，其特征在于，

在將所述第1方向上的所述第1開口部的寬度設(shè)為W1、將所述第1方向上的所述第2開口部的寬度設(shè)為W2、將所述第1方向上的所述第3開口部的寬度設(shè)為W3、將所述第1方向上的所述第1開口部與所述第2開口部之間的所述隔壁的寬度設(shè)為L1、將所述第1方向上的所述第2開口部與所述第3開口部之間的所述隔壁的寬度設(shè)為L2時，滿足W1＜W2≤W3且L1＞L2。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴排出方法，其特征在于，

所述排出頭具有多個噴嘴，

在所述排出步驟中，相對于被配置為所述第1開口部、所述第2開口部以及所述第3開口部的長邊方向沿著與所述第1方向正交的第2方向的所述基體，使所述排出頭沿所述第2方向相對地進行掃描，并使多個液滴從所述多個噴嘴中的至少一個噴嘴向所述著落區(qū)域著落。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴排出方法，其特征在于，

所述排出頭具有多個噴嘴，

在所述排出步驟中，相對于被配置為所述第1開口部、所述第2開口部以及所述第3開口部的長邊方向沿著與所述第1方向正交的第2方向的所述基體，使所述排出頭沿所述第1方向相對地進行掃描，并使至少一滴液滴從所述多個噴嘴中的兩個以上的噴嘴分別向所述著落區(qū)域著落。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴排出方法，其特征在于，

將所述決定的距離L設(shè)定得大于對于在使所述基體與所述排出頭對置并相對地進行掃描的一次掃描中形成于所述著落區(qū)域的所述著落直徑的一半的值加上液滴的著落位置誤差而得的值。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴排出方法，其特征在于，

設(shè)定所述著落區(qū)域，使之包含在所述排出步驟中著落的液滴的中心位于所述著落區(qū)域的所述一方的端部以及所述另一方的端部的液滴。

7.一種程序，其特征在于，

使計算機執(zhí)行權(quán)利要求1～5中的任一項所述的液滴排出方法。

8.一種有機EL裝置的制造方法，其特征在于，

具有排出工序，其中，使用所述權(quán)利要求1～6中的任一項所述的液滴排出方法，將用于形成包括發(fā)光層的功能層中的至少一層的液狀體作為液滴向經(jīng)由隔壁相鄰的多個開口部排出。

9.一種濾色器的形成方法，其特征在于，

具有排出工序，其中，使用所述權(quán)利要求1～6中的任一項所述的液滴排出方法，將用于形成著色層的液狀體作為液滴向經(jīng)由隔壁相鄰的多個開口部排出。