[發明專利]基板保持裝置及基板處理裝置

在審

• 申請號: 202010546521.2
• 申請日: 2020-06-16
• 公開（公告）號: CN112103237A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 柏木誠
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67;B08B1/00;B08B1/04;B24B21/04;B24B37/10;B24B37/30;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B49/00;B24B49/12
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種基板保持裝置，一邊使基板進行圓運動，一邊使所述基板以該基板的軸心為中心旋轉，其特征在于，具備：

多個輥，該多個輥能夠與所述基板的周緣部接觸；

多個電動機，該多個電動機使所述多個輥旋轉；

多個偏心軸，該多個偏心軸圍繞預先確定的中心軸線排列；以及

多個致動器，

所述多個偏心軸具有多個第一軸部和多個第二軸部，該多個第二軸部分別從所述多個第一軸部偏心，

所述多個輥分別固定于所述多個第二軸部，所述多個第一軸部分別與所述多個電動機連結，

所述多個偏心軸由多個可動軸及多個基準軸構成，

所述多個致動器分別與所述多個可動軸連結，

所述多個致動器構成為，使所述多個可動軸向接近所述多個基準軸的方向以及從所述多個基準軸遠離的方向移動。

2.根據權利要求1所述的基板保持裝置，其特征在于，

所述多個偏心軸還具有多個中間軸部，該多個中間軸部將所述多個第一軸部與所述多個第二軸部連結，

所述多個第一軸部分別固定于所述多個中間軸部，所述多個第二軸部分別固定于所述多個中間軸部。

3.根據權利要求1或2所述的基板保持裝置，其特征在于，

還具備動作控制部，該動作控制部使所述多個電動機以相同速度且以相同相位旋轉。

4.根據權利要求1或2所述的基板保持裝置，其特征在于，

接近所述多個基準軸的方向以及從所述多個基準軸遠離的方向是朝向所述中心軸線的方向以及從所述中心軸線遠離的方向。

5.根據權利要求1或2所述的基板保持裝置，其特征在于，

所述多個致動器分別具備：

活塞；

殼體，該殼體遠離所述活塞配置；以及

隔壁膜，該隔壁膜在所述活塞與所述殼體之間形成壓力室。

6.根據權利要求5所述的基板保持裝置，其特征在于，

所述隔壁膜具有：

中央部，該中央部與所述活塞的端部接觸；

內壁部，該內壁部與所述中央部連接，且沿著所述活塞的側面延伸；

折返部，該折返部與所述內壁部連接，且具有彎曲的截面；以及

外壁部，該外壁部與所述折返部連接，且位于所述內壁部的外側。

7.根據權利要求1或2所述的基板保持裝置，其特征在于，

還具備至少一個非接觸式的距離傳感器，該距離傳感器測定所述多個可動軸中的至少一個可動軸的移動距離。

8.根據權利要求7所述的基板保持裝置，其特征在于，

還具備動作控制部，該動作控制部構成為，通過將所述移動距離的測定值或根據所述移動距離的多個測定值計算出的指標值與預先設定的閾值進行比較來判斷所述基板保持裝置是否發生異常。

9.根據權利要求8所述的基板保持裝置，其特征在于，

所述指標值是所述多個輥旋轉一周以上時的所述多個可動軸中的至少一個可動軸的位置的平均值。

10.根據權利要求8所述的基板保持裝置，其特征在于，

所述指標值是所述多個輥旋轉一周以上的期間的所述多個可動軸中的至少一個可動軸的位置的最大值與最小值的差。