[發(fā)明專利]天線裝置及溫度檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010546135.3
• 申請(qǐng)日: 2020-06-16
• 公開（公告）號(hào): CN112151941A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳同;南朋秀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01Q1/22
• 分類號(hào): H01Q1/22;H01Q1/36;H01Q1/38;H01Q1/50;G01K11/26
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種天線裝置，其具備：

第1金屬層；

在所述第1金屬層上設(shè)置的第1電介質(zhì)層；

在所述第1電介質(zhì)層上設(shè)置的第2金屬層；

在所述第2金屬層上設(shè)置的第2電介質(zhì)層；

在所述第2電介質(zhì)層上設(shè)置的第1金屬端子及第2金屬端子；以及

在所述第2電介質(zhì)層上設(shè)置的溫度檢測(cè)器，

所述第1金屬端子與所述第2金屬端子彼此分離配置，

所述溫度檢測(cè)器的一對(duì)輸入輸出端子的各個(gè)與所述第1金屬端子及所述第2金屬端子的各個(gè)電連接，

所述第2金屬層具有配置于所述第1電介質(zhì)層上的第1部分與第2部分，

所述第1部分與所述第2部分彼此分離配置，

所述第1金屬端子配置于所述第1部分的上方，

所述第2金屬端子配置于所述第2部分的上方，

所述第1電介質(zhì)層具有比FR-4樹脂更高的導(dǎo)熱系數(shù)和更高的耐熱性。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的天線裝置，其中，

所述第1電介質(zhì)層的材料具有氮化鋁。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的天線裝置，其中，

所述第1電介質(zhì)層具有：

在所述第1金屬層上設(shè)置的第1層；

在所述第1層上設(shè)置的第2層；以及

在所述第2層上設(shè)置的第3層，

所述第2金屬層設(shè)置于所述第3層上，

所述第1層及所述第3層的材料均為含有SiO₂的玻璃，

所述第2層的材料為硅。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的天線裝置，其中，

所述第1層及所述第3層的材料為石英。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的天線裝置，其中，

所述溫度檢測(cè)器是使用了彈性表面波的非供電的溫度傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的天線裝置，其中，

所述第1金屬端子及所述第2金屬端子配置于所述第2電介質(zhì)層的表面的中央或邊緣。

7.一種溫度檢測(cè)方法，其檢測(cè)靜電卡盤上的晶片的溫度，

在該溫度檢測(cè)方法中，

將設(shè)置有具有溫度檢測(cè)器的天線裝置的晶片放置于所述靜電卡盤上，

由所述溫度檢測(cè)器接收從外部天線發(fā)送到所述天線裝置的第1信號(hào)，

所述溫度檢測(cè)器根據(jù)所述第1信號(hào)輸出第2信號(hào)，

所述天線裝置將所述第2信號(hào)發(fā)送到所述外部天線，

所述第1信號(hào)是為了檢測(cè)溫度而激勵(lì)所述溫度檢測(cè)器的信號(hào)，

所述第2信號(hào)是表示通過所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)出的溫度的信號(hào)，

所述天線裝置具備：

第1金屬層；

在所述第1金屬層上設(shè)置的第1電介質(zhì)層；

在所述第1電介質(zhì)層上設(shè)置的第2金屬層；

在所述第2金屬層上設(shè)置的第2電介質(zhì)層；

在所述第2電介質(zhì)層上設(shè)置的第1金屬端子及第2金屬端子；以及

在所述第2電介質(zhì)層上設(shè)置的所述溫度檢測(cè)器，

所述第1金屬端子與所述第2金屬端子彼此分離配置，

所述溫度檢測(cè)器的一對(duì)輸入輸出端子的各個(gè)與所述第1金屬端子及所述第2金屬端子的各個(gè)電連接，

所述第2金屬層具有配置于所述第1電介質(zhì)層上的第1部分與第2部分，

所述第1部分與所述第2部分彼此分離配置，

所述第1金屬端子配置于所述第1部分的上方，

所述第2金屬端子配置于所述第2部分的上方，

所述第1電介質(zhì)層具有比FR-4樹脂更高的導(dǎo)熱系數(shù)和更高的耐熱性。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的溫度檢測(cè)方法，其中，

所述溫度檢測(cè)器是使用了彈性表面波的非供電的溫度傳感器。