[發明專利]用于有源矩陣有機發光二極體顯示器多層薄膜的蝕刻液

在審

• 申請號: 202010543121.6
• 申請日: 2020-06-15
• 公開（公告）號: CN111704903A
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 戈士勇;何珂;陸水忠
• 申請（專利權）人: 江蘇中德電子材料科技有限公司
• 主分類號: C09K13/06
• 分類號: C09K13/06;H01L27/32
• 代理公司: 江陰市輕舟專利代理事務所(普通合伙) 32380
• 代理人: 曹鍵

本發明實施例公開了一種用于有源矩陣有機發光二極體顯示器多層薄膜的蝕刻液，包括按質量百分比計算的以下組分：15?45％的磷酸、1?10％的硝酸、5?25％的蘋果酸、0.2?0.6％的滲透劑、10?14％的亞硝酰氯和1?8％的磷酸二氫鹽組成，余量為去離子水。本發明實施例提供的蝕刻液，合理調配各組分及用量，由于將硝酸、蘋果酸和亞硝酰氯配合使用，使蝕刻液滲透性強，蝕刻效率高，蝕刻角度準，蝕刻線條平整，均勻且不會有殘留。此外，由于本申請的蝕刻液對步驟二制備的混合物靜置10s以上，之后放入轉速為1000r/min的攪拌機中攪拌，能夠將滲透劑和蘋果酸充分混合到混合物中，從而提升蝕刻液的均勻性。

技術領域

本發明屬于化工技術領域，具體涉及一種用于有源矩陣有機發光二極體顯示器多層薄膜的蝕刻液。

背景技術

有源矩陣有機發光二極體顯示器是一種用于顯示通過特定的傳輸設備傳輸的一定的電子文件的畫面并反射至人眼，以方便使用者獲取想要的信息的附屬裝置，其在畫面顯示的領域中得到了廣泛的使用。蝕刻液是通過利用侵蝕材料的特性來進行雕刻的一種液體，在目前工業生產，尤其微電子加工領域具有廣泛的用途。但目前用于有源矩陣有機發光二極體顯示器多層薄膜的蝕刻液較少，且蝕刻液的滲透性弱、蝕刻效率不高、蝕刻角度不精準，都嚴重影響了蝕刻效果。

發明內容

為此，本發明實施例提供一種用于有源矩陣有機發光二極體顯示器多層薄膜的蝕刻液，以解決現有技術中蝕刻液的滲透性弱、蝕刻效率不高、蝕刻角度不精準，都嚴重影響了蝕刻效果的問題。

為了實現上述目的，本發明實施例提供如下技術方案：

根據本發明實施例的第一方面，提供一種用于有源矩陣有機發光二極體顯示器多層薄膜的蝕刻液，包括按質量百分比計算的以下組分：15-45％的磷酸、1-10％的硝酸、5-25％的蘋果酸、0.2-0.6％的滲透劑、10-14％的亞硝酰氯和1-8％的磷酸二氫鹽組成，余量為去離子水。

進一步的，所述的蝕刻液，包括按質量百分比計算的以下組分：25％的磷酸、3％的硝酸、6％的蘋果酸、0.25％的滲透劑、7％的亞硝酰氯、10％的磷酸二氫鉀組成，余量為去離子水。

進一步的，所述的蝕刻液包括按質量百分比計算的以下組分：30％的磷酸、2.5％的硝酸、8％的蘋果酸、0.25％的滲透劑、13％的亞硝酰氯、12％的磷酸二氫鉀組成，余量為去離子水。

進一步的，所述的蝕刻液包括按質量百分比計算的以下組分：30％的磷酸、3.5％的硝酸、5％的蘋果酸、0.3％的滲透劑、13％的亞硝酰氯、15％的磷酸二氫鉀組成，余量為去離子水。

進一步的，所述蝕刻液的使用溫度為40-70℃。

進一步的，所述蝕刻液的使用溫度為65℃。

根據本發明實施例的第二方面，提供一種蝕刻液的制備方法，包括以下步驟：

步驟一、稱取制備蝕刻液的各種原料，備用；

步驟二、將硝酸加入到去離子水中，之后向去離子水中依次加入磷酸、磷酸二氫鉀、亞硝酰氯，攪拌均勻后制得混合物，備用；

步驟三、向步驟二制備的混合物中加入滲透劑和蘋果酸，攪拌均勻后制得所述的蝕刻液。

進一步的，步驟二中在向去離子水中依次加入磷酸、磷酸二氫鉀、亞硝酰氯時，邊攪拌邊加入各組分。

進一步的，所述的步驟三包括將步驟二制備的混合物靜置10s以上，之后放入轉速為1000r/min的攪拌機中攪拌，攪拌期間依次加入滲透劑和蘋果酸，且滲透劑和蘋果酸的加入時間間隔3s以上。

根據本發明實施例的第三方面，提供一種蝕刻液于有源矩陣有機發光二極體顯示器多層薄膜中的應用。