[發明專利]噴淋式進氣CVD動態混氣裝置

在審

• 申請號: 202010542448.1
• 申請日: 2020-06-15
• 公開（公告）號: CN111560603A
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 于葛亮;張錦;劉偉銘;康斯坦丁·諾沃舍洛夫;孫正乾;楊金東
• 申請（專利權）人: 無錫盈芯半導體科技有限公司;北京大學
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良;涂三民

本發明涉及一種噴淋式進氣CVD動態混氣裝置，在法蘭的右側壁上呈密封固定有混合罐，在法蘭的左側壁上呈密封固定有定子，在法蘭上或者混合罐上固定有至少兩個進氣接頭，在混合罐上固定有出氣接頭，在混合罐內轉動安裝有葉片軸，在葉片軸上固定有葉片；在定子內轉動安裝有主軸，主軸與葉片軸呈一體式同軸連接，在主軸內固定有強磁線圈，在主軸的外壁與定子的內壁之間設有密封用磁性粉末。本發明大大提高了二維材料生長用氣體的混合效果，本發明還具有密封可靠、結構簡單的優點。

技術領域

本發明涉及一種二維材料生長領域使用的氣體混合器，具體地說是一種噴淋式進氣CVD動態混氣裝置。

背景技術

在二維材料生長領域使用的氣體混合器大多為靜態混合器，靜態混合器的工作原理是高速度通過的幾路氣體通過密閉的迷宮狀管道空間碰撞然后實現混合，混合效果取決氣體的通過密閉腔助混結構的速度和助混結構的合理搭配的空間，能很好的讓氣體分子自在空間里面有碰撞混合。目前，靜態混合器普遍存在氣體混合效果較差的問題。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種能大大提升混合效果且密封可靠的噴淋式進氣CVD動態混氣裝置。

按照本發明提供的技術方案，所述噴淋式進氣CVD動態混氣裝置，包括法蘭、混合罐、定子、進氣接頭、出氣接頭、葉片軸、葉片、主軸、強磁線圈與密封用磁性粉末；

在法蘭的右側壁上呈密封固定有混合罐，在法蘭的左側壁上呈密封固定有定子，在法蘭上或者混合罐上固定有兩個進氣接頭，在混合罐上固定有出氣接頭，在混合罐內轉動安裝有葉片軸，在葉片軸上固定有葉片；在定子內轉動安裝有主軸，主軸與葉片軸呈一體式同軸連接，在主軸內固定有強磁線圈，在主軸的外壁與定子的內壁之間設有密封用磁性粉末。

作為優選，所述葉片包括正向吹風葉片與反向吹風葉片，在葉片軸上固定有呈間隔設置的正向吹風葉片與反向吹風葉片，相鄰兩個正向吹風葉片之間設有一個反向吹風葉片，相鄰兩個反向吹風葉片之間設有一個正向吹風葉片。

作為優選，所述混合罐的出氣端為圓錐形罐體，在圓錐形罐體的內壁面上設有氣體導流旋轉螺紋，在圓錐形罐體的錐頂位置固定有所述的出氣接頭。

作為優選，所述兩個進氣接頭分別固定在法蘭的直徑兩端，進氣接頭（4）的出氣方向與葉片軸的軸線方向一致，在靠近法蘭的混合罐內壁上設有與進氣接頭的出氣端位置配合的擋板。

作為優選，所述進氣接頭固定在靠近法蘭的混合罐上，兩個進氣接頭的出氣方向為混合罐的直徑方向且呈對向設置。

作為優選，所述葉片軸與混合罐呈同軸設置。

本發明大大提高了二維材料生長用氣體的混合效果，本發明還具有密封可靠、結構簡單的優點。

附圖說明

圖1是本發明實施例1的結構示意圖。

圖2是本發明實施例2的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合具體實施例對本發明作進一步說明。

實施例1

一種噴淋式進氣CVD動態混氣裝置，如圖1所示，它包括法蘭1、混合罐2、定子3、進氣接頭4、出氣接頭5、葉片軸6、葉片7、主軸8、強磁線圈9與密封用磁性粉末10；

在法蘭1的右側壁上呈密封固定有混合罐2，在法蘭1的左側壁上呈密封固定有定子3，在法蘭1上或者混合罐2上固定有兩個進氣接頭4，在混合罐2上固定有出氣接頭5，在混合罐2內轉動安裝有葉片軸6，在葉片軸6上固定有葉片7；在定子3內轉動安裝有主軸8，主軸8與葉片軸6呈一體式同軸連接，在主軸8內固定有強磁線圈9，在主軸8的外壁與定子3的內壁之間設有密封用磁性粉末10。