[發明專利]噴淋式進氣CVD動態混氣裝置

在審

• 申請號: 202010542448.1
• 申請日: 2020-06-15
• 公開（公告）號: CN111560603A
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 于葛亮;張錦;劉偉銘;康斯坦丁·諾沃舍洛夫;孫正乾;楊金東
• 申請（專利權）人: 無錫盈芯半導體科技有限公司;北京大學
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良;涂三民

1.一種噴淋式進氣CVD動態混氣裝置，包括法蘭（1）、混合罐（2）、定子（3）、進氣接頭（4）、出氣接頭（5）、葉片軸（6）、葉片（7）、主軸（8）、強磁線圈（9）與密封用磁性粉末（10）；

其特征是：在法蘭（1）的右側壁上呈密封固定有混合罐（2），在法蘭（1）的左側壁上呈密封固定有定子（3），在法蘭（1）上或者混合罐（2）上固定有兩個進氣接頭（4），在混合罐（2）上固定有出氣接頭（5），在混合罐（2）內轉動安裝有葉片軸（6），在葉片軸（6）上固定有葉片（7）；在定子（3）內轉動安裝有主軸（8），主軸（8）與葉片軸（6）呈一體式同軸連接，在主軸（8）內固定有強磁線圈（9），在主軸（8）的外壁與定子（3）的內壁之間設有密封用磁性粉末（10）。

2.根據權利要求1所述的噴淋式進氣CVD動態混氣裝置，其特征是：所述葉片（7）包括正向吹風葉片（71）與反向吹風葉片（72），在葉片軸（6）上固定有呈間隔設置的正向吹風葉片（71）與反向吹風葉片（72），相鄰兩個正向吹風葉片（71）之間設有一個反向吹風葉片（72），相鄰兩個反向吹風葉片（72）之間設有一個正向吹風葉片（71）。

3.根據權利要求1所述的噴淋式進氣CVD動態混氣裝置，其特征是：所述混合罐（2）的出氣端為圓錐形罐體，在圓錐形罐體的內壁面上設有氣體導流旋轉螺紋（11），在圓錐形罐體的錐頂位置固定有所述的出氣接頭（5）。

4.根據權利要求1所述的噴淋式進氣CVD動態混氣裝置，其特征是：所述兩個進氣接頭（4）分別固定在法蘭（1）的直徑兩端，進氣接頭（4）的出氣方向與葉片軸（6）的軸線方向一致，在靠近法蘭（1）的混合罐（2）內壁上設有與進氣接頭（4）的出氣端位置配合的擋板（12）。

5.根據權利要求1所述的噴淋式進氣CVD動態混氣裝置，其特征是：所述進氣接頭（4）固定在靠近法蘭（1）的混合罐（2）上，兩個進氣接頭（4）的出氣方向為混合罐（2）的直徑方向且呈對向設置。

6.根據權利要求1所述的噴淋式進氣CVD動態混氣裝置，其特征是：所述葉片軸（6）與混合罐（2）呈同軸設置。