[發(fā)明專利]成膜裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010542182.0
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號: CN111647870A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松崎淳介;高橋明久;水島優(yōu)
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社愛發(fā)科
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/34;H01L21/677;B65G49/00;B65G47/26
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張澤洲;王麗輝

提供使用多個基板保持器、對基板的兩面能夠高效率地成膜、小型且結(jié)構(gòu)簡單的通過型的成膜裝置。在真空槽（2）內(nèi)具備對保持于基板保持器的基板（10）上進(jìn)行成膜的第1及第2成膜區(qū)域（4、5）、相對于鉛垂面的投影形狀形成為連續(xù)的環(huán)狀地設(shè)置成通過第1及第2成膜區(qū)域的搬運路徑、在使多個基板保持器水平的狀態(tài)下沿搬運路徑搬運的基板保持器搬運機(jī)構(gòu)。基板保持器搬運機(jī)構(gòu)具備與設(shè)置于各基板保持器的被驅(qū)動部接觸而使基板保持器向移動方向推壓來移動的多個驅(qū)動部，該驅(qū)動部關(guān)于相鄰的基板保持器，以移動方向下游側(cè)的基板保持器的移動方向上游側(cè)的端部、移動方向上游側(cè)的基板保持器的移動方向下游側(cè)的端部接近的狀態(tài)在第1及第2成膜區(qū)域搬運。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在真空中對保持于基板保持器的基板的兩面進(jìn)行通過成膜的成膜裝置的技術(shù)。

背景技術(shù)

以往，已知將多個被成膜基板分別載置于托盤等基板保持器來進(jìn)行通過成膜（通過成膜）的成膜裝置。

作為這樣的成膜裝置，將作為成膜對象的基板向真空槽內(nèi)導(dǎo)入(裝載)來使基板保持器保持，將成膜已結(jié)束的基板從基板保持器卸下來向真空槽外排出(卸載)。

在現(xiàn)有技術(shù)的方案中，基板在從裝載位置至卸載位置，其成膜面被水平地保持，沿在水平面內(nèi)構(gòu)成的環(huán)狀的搬運路徑移動的同時，進(jìn)行各處理。

結(jié)果，在這樣的現(xiàn)有技術(shù)中，有無法避免成膜裝置的大型化及復(fù)雜化的問題。

此外，在將保持著各基板的多個基板保持器搬運來進(jìn)行通過成膜的情況下，優(yōu)選地使成膜的效率盡可能大。

但是，進(jìn)行這樣的通過成膜的裝置中有難以高效率地進(jìn)行成膜的問題。

特別地，在對基板的兩面進(jìn)行成膜的裝置中，也有上述問題會更嚴(yán)重的問題。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2007-031821號公報。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是考慮這樣的以往的技術(shù)問題而作出的，其目的在于，提供一種成膜裝置，前述成膜裝置使用多個基板保持器，對于基板的兩面能夠高效率地成膜，且為小型且簡單的結(jié)構(gòu)，該成膜裝置是通過型的。

用于實現(xiàn)上述目的的本發(fā)明是一種成膜裝置，前述成膜裝置具備真空槽、第1成膜區(qū)域、第2成膜區(qū)域、基板保持器搬運機(jī)構(gòu)，前述真空槽形成單一的真空氛圍，前述第1成膜區(qū)域設(shè)置于前述真空槽內(nèi)，在保持于基板保持器的基板處形成第1膜，前述第2成膜區(qū)域設(shè)置于前述真空槽內(nèi)的前述第1成膜區(qū)域的下方或上方的某一方，在保持于前述基板保持器的前述基板形成第2膜，前述基板保持器搬運機(jī)構(gòu)使多個前述基板保持器通過第1成膜區(qū)域和前述第2成膜區(qū)域，前述基板保持器搬運機(jī)構(gòu)具有搬運路徑和驅(qū)動部，前述搬運路徑形成為，投影至鉛垂面的形狀為環(huán)狀的形狀，前述驅(qū)動部與設(shè)置于前述多個基板保持器的被驅(qū)動部接觸，在維持前述基板保持器的水平狀態(tài)的同時，推壓前述被驅(qū)動部，使前述基板保持器沿前述搬運路徑移動，前述搬運機(jī)構(gòu)具有第1搬運部和第2搬運部，前述第1搬運部被從前述第1成膜區(qū)域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驅(qū)動部使前述基板保持器通過前述第1成膜區(qū)域，前述第2搬運部被從前述第2成膜區(qū)域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驅(qū)動部使前述基板保持器通過前述第2成膜區(qū)域，在前述基板保持器搬運機(jī)構(gòu)設(shè)置有搬運折回部，前述搬運折回部在維持前述基板保持器的水平狀態(tài)的同時使前述基板保持器從前述第1搬運部向前述第2搬運部移動，在前述搬運機(jī)構(gòu)，設(shè)置有使前述驅(qū)動部從前述第2搬運部向前述第1搬運部移動的驅(qū)動部折回部。

此外，本發(fā)明的成膜裝置為，在前述基板保持器的移動方向的下游側(cè)的端部和移動方向的上游側(cè)的端部，設(shè)置有將成膜材料屏蔽的突出狀的屏蔽部。

本發(fā)明的成膜裝置為，相鄰地移動的兩個前述基板保持器的前述屏蔽部中，先移動的前述基板保持器的前述移動方向的下游側(cè)的前述屏蔽部和后移動的前述基板保持器的前述移動方向的上游側(cè)的前述屏蔽部形成為，距前述基板保持器的底面的高度不同，配置成移動時重合。