[發明專利]成膜裝置

在審

• 申請號: 202010542182.0
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號: CN111647870A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 松崎淳介;高橋明久;水島優
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/34;H01L21/677;B65G49/00;B65G47/26
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張澤洲;王麗輝

1.一種成膜裝置，其特征在于，

前述成膜裝置具備真空槽、第1成膜區域、第2成膜區域、基板保持器搬運機構，

前述第1成膜區域設置于前述真空槽內，在保持于基板保持器的基板處形成第1膜，

前述第2成膜區域設置于前述真空槽內的前述第1成膜區域的下方或上方的某一方，在保持于前述基板保持器的前述基板形成第2膜，

前述基板保持器搬運機構使多個前述基板保持器通過第1成膜區域和前述第2成膜區域，

前述基板保持器搬運機構具有驅動部，

前述驅動部與設置于多個前述基板保持器的被驅動部接觸，在維持前述基板保持器的水平狀態的同時，推壓前述被驅動部，使前述基板保持器沿搬運路徑移動，

前述基板保持器搬運機構具有第1搬運部和第2搬運部，

前述第1搬運部被從前述第1成膜區域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驅動部使前述基板保持器通過前述第1成膜區域，

前述第2搬運部被從前述第2成膜區域的一端遍及至另一端地配置，借助前述驅動部使前述基板保持器通過前述第2成膜區域，

在前述基板保持器搬運機構設置有搬運折回部，前述搬運折回部使前述基板保持器從前述第1搬運部向前述第2搬運部移動，

在前述基板保持器搬運機構，設置有使前述驅動部從前述第2搬運部向前述第1搬運部移動的驅動部折回部，

前述搬運折回部構成為，具有反轉部，借助設置于前述反轉部的支承部、設置于前述搬運折回部的支承部將前述基板保持器支承，借助前述驅動部推壓前述被驅動部，由此，在將前述基板保持器維持水平狀態的同時，使其從前述第1搬運部向前述第2搬運部移動。

2.如權利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

在前述基板保持器的移動方向的下游側的端部和移動方向的上游側的端部，設置有將成膜材料屏蔽的突出狀的屏蔽部。

3.如權利要求2所述的成膜裝置，其特征在于，

相鄰地移動的兩個前述基板保持器的前述屏蔽部中，先移動的前述基板保持器的前述移動方向的上游側的前述屏蔽部和后移動的前述基板保持器的前述移動方向的下游側的前述屏蔽部形成為，距前述基板保持器的底面的高度不同，配置成移動時重合。

4.如權利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

前述基板保持器搬運機構具有架設于以旋轉軸線為中心旋轉的兩個驅動輪的搬運驅動部件，

前述驅動部包括分別設置于前述搬運驅動部件的初始移動用驅動部和驅動用驅動部，

在各前述基板保持器的前述被驅動部，包括設置于前述基板保持器的移動方向的上游側的上游側被驅動部和設置于下游側的下游側被驅動部，

前述初始移動用驅動部與前述下游側被驅動部接觸，推壓前述下游側被驅動部，使前述基板保持器直線移動，

前述驅動用驅動部配置于比前述初始移動用驅動部靠移動方向的后方側的位置，位于在被前述初始移動用驅動部直線移動的前述基板保持器的移動方向上游側的前述驅動輪的側面地旋轉中，與前述上游側被驅動部接觸地推壓，使前述基板保持器比前述初始移動用驅動部的移動速度快地移動。

5.如權利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

前述基板保持器構成為，多個成膜對象基板被沿相對于該移動方向正交的方向排列。