[發明專利]蒸鍍掩模用基材及其制造方法、蒸鍍掩模及顯示裝置的制造方法

在審

• 申請號: 202010540876.0
• 申請日: 2018-03-22
• 公開（公告）號: CN111575647A
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 新納干大
• 申請（專利權）人: 凸版印刷株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C25D3/12;C25D7/00;C21D1/26;C21D8/02;C21D9/00;C23F1/28;C22C38/04;C22C38/52;C21D6/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 牛玉婷

1.一種蒸鍍掩模用基材，是具有帶狀的金屬板，用于通過蝕刻形成多個孔來制造蒸鍍掩模，其中，

上述金屬板具有長度方向和寬度方向，上述金屬板的上述長度方向上的各位置處的沿著上述寬度方向的形狀互不相同，各形狀具有在上述寬度方向上反復的波，各波在其兩側分別具有谷；

從上述波的一個谷連結到另一個谷的寬度方向的直線的長度是波的長度；

上述波的高度相對于上述波的長度的百分比是單位陡峭度；

上述長度方向上的上述金屬板的單位長度是500mm；

上述單位長度的金屬板中的上述單位陡峭度的最大值是第1陡峭度；

上述第1陡峭度是0.5％以下。

2.如權利要求1所述的蒸鍍掩模用基材，其中，

在上述長度方向上的各位置，上述寬度方向上所包含的全部波的單位陡峭度中的最大值是第2陡峭度；

上述單位長度的金屬板中的上述第2陡峭度的平均值是0.25％以下。

3.如權利要求1所述的蒸鍍掩模用基材，其中，

在上述長度方向上的各位置，上述寬度方向上所包含的波的數量是該位置處的波數；

上述單位長度的金屬板中的上述波數的最大值是4個以下。

4.如權利要求1～3中任一項所述的蒸鍍掩模用基材，其中，

在上述長度方向上的各位置，上述寬度方向上所包含的波的數量是該位置處的波數；

上述單位長度的金屬板中的上述波數的平均值是2個以下。

5.一種蒸鍍掩模用基材的制造方法，上述蒸鍍掩模用基材是具有帶狀的金屬板，用于通過蝕刻形成多個孔來制造蒸鍍掩模，其中，

上述制造方法包括將母材軋制而得到上述金屬板的工序；

上述金屬板具有長度方向和寬度方向，上述金屬板的上述長度方向上的各位置處的沿著上述寬度方向的形狀互不相同，各形狀具有在上述寬度方向上反復的波，各波在其兩側分別具有谷；

從上述波的一個谷連結到另一個谷的寬度方向的直線的長度是波的長度；

上述波的高度相對于上述波的長度的百分比是單位陡峭度；

上述長度方向上的上述金屬板的單位長度是500mm；

上述單位長度的金屬板中的上述單位陡峭度的最大值是第1陡峭度；

將上述母材軋制，以使上述第1陡峭度是0.5％以下。

6.一種蒸鍍掩模的制造方法，包括在具有帶狀的金屬板上形成抗蝕劑層的工序、和通過以上述抗蝕劑層為掩模的蝕刻而在上述金屬板上形成多個孔來形成掩模部的工序，其中，

上述金屬板具有長度方向和寬度方向，上述金屬板的上述長度方向上的各位置處的沿著上述寬度方向的形狀互不相同，各形狀具有在上述寬度方向上反復的波，各波在其兩側分別具有谷；

從上述波的一個谷連結到另一個谷的寬度方向的直線的長度是波的長度；

上述波的高度相對于上述波的長度的百分比是單位陡峭度；

上述長度方向上的上述金屬板的單位長度是500mm；

上述單位長度的金屬板中的上述單位陡峭度的最大值是第1陡峭度；

上述第1陡峭度是0.5％以下。

7.如權利要求6所述的蒸鍍掩模的制造方法，其中，

形成上述掩模部的工序是在單一的上述金屬板上形成多個上述掩模部的工序；

上述各掩模部分別具備具有上述多個孔的1個側面；

上述蒸鍍掩模的制造方法還包括如下工序：將上述各掩模部的側面與1體的框部相互接合，以便上述1體的框部按照每個上述掩模部將上述多個孔包圍。

8.一種顯示裝置的制造方法，其中，

包括如下工序：

準備由權利要求6或7所述的蒸鍍掩模的制造方法形成的蒸鍍掩模；

通過使用了上述蒸鍍掩模的蒸鍍來形成圖案。