[發(fā)明專(zhuān)利]蒸鍍掩模用基材及其制造方法、蒸鍍掩模及顯示裝置的制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010540876.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111575647A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 新納干大
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 凸版印刷株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/04
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/04;C23C14/24;C25D3/12;C25D7/00;C21D1/26;C21D8/02;C21D9/00;C23F1/28;C22C38/04;C22C38/52;C21D6/00
• 代理公司: 永新專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 牛玉婷

1.一種蒸鍍掩模用基材，是具有帶狀的金屬板，用于通過(guò)蝕刻形成多個(gè)孔來(lái)制造蒸鍍掩模，其中，

上述金屬板具有長(zhǎng)度方向和寬度方向，上述金屬板的上述長(zhǎng)度方向上的各位置處的沿著上述寬度方向的形狀互不相同，各形狀具有在上述寬度方向上反復(fù)的波，各波在其兩側(cè)分別具有谷；

從上述波的一個(gè)谷連結(jié)到另一個(gè)谷的寬度方向的直線的長(zhǎng)度是波的長(zhǎng)度；

上述波的高度相對(duì)于上述波的長(zhǎng)度的百分比是單位陡峭度；

上述長(zhǎng)度方向上的上述金屬板的單位長(zhǎng)度是500mm；

上述單位長(zhǎng)度的金屬板中的上述單位陡峭度的最大值是第1陡峭度；

上述第1陡峭度是0.5％以下。

2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模用基材，其中，

在上述長(zhǎng)度方向上的各位置，上述寬度方向上所包含的全部波的單位陡峭度中的最大值是第2陡峭度；

上述單位長(zhǎng)度的金屬板中的上述第2陡峭度的平均值是0.25％以下。

3.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩模用基材，其中，

在上述長(zhǎng)度方向上的各位置，上述寬度方向上所包含的波的數(shù)量是該位置處的波數(shù)；

上述單位長(zhǎng)度的金屬板中的上述波數(shù)的最大值是4個(gè)以下。

4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的蒸鍍掩模用基材，其中，

在上述長(zhǎng)度方向上的各位置，上述寬度方向上所包含的波的數(shù)量是該位置處的波數(shù)；

上述單位長(zhǎng)度的金屬板中的上述波數(shù)的平均值是2個(gè)以下。

5.一種蒸鍍掩模用基材的制造方法，上述蒸鍍掩模用基材是具有帶狀的金屬板，用于通過(guò)蝕刻形成多個(gè)孔來(lái)制造蒸鍍掩模，其中，

上述制造方法包括將母材軋制而得到上述金屬板的工序；

上述金屬板具有長(zhǎng)度方向和寬度方向，上述金屬板的上述長(zhǎng)度方向上的各位置處的沿著上述寬度方向的形狀互不相同，各形狀具有在上述寬度方向上反復(fù)的波，各波在其兩側(cè)分別具有谷；

從上述波的一個(gè)谷連結(jié)到另一個(gè)谷的寬度方向的直線的長(zhǎng)度是波的長(zhǎng)度；

上述波的高度相對(duì)于上述波的長(zhǎng)度的百分比是單位陡峭度；

上述長(zhǎng)度方向上的上述金屬板的單位長(zhǎng)度是500mm；

上述單位長(zhǎng)度的金屬板中的上述單位陡峭度的最大值是第1陡峭度；

將上述母材軋制，以使上述第1陡峭度是0.5％以下。

6.一種蒸鍍掩模的制造方法，包括在具有帶狀的金屬板上形成抗蝕劑層的工序、和通過(guò)以上述抗蝕劑層為掩模的蝕刻而在上述金屬板上形成多個(gè)孔來(lái)形成掩模部的工序，其中，

上述金屬板具有長(zhǎng)度方向和寬度方向，上述金屬板的上述長(zhǎng)度方向上的各位置處的沿著上述寬度方向的形狀互不相同，各形狀具有在上述寬度方向上反復(fù)的波，各波在其兩側(cè)分別具有谷；

從上述波的一個(gè)谷連結(jié)到另一個(gè)谷的寬度方向的直線的長(zhǎng)度是波的長(zhǎng)度；

上述波的高度相對(duì)于上述波的長(zhǎng)度的百分比是單位陡峭度；

上述長(zhǎng)度方向上的上述金屬板的單位長(zhǎng)度是500mm；

上述單位長(zhǎng)度的金屬板中的上述單位陡峭度的最大值是第1陡峭度；

上述第1陡峭度是0.5％以下。

7.如權(quán)利要求6所述的蒸鍍掩模的制造方法，其中，

形成上述掩模部的工序是在單一的上述金屬板上形成多個(gè)上述掩模部的工序；

上述各掩模部分別具備具有上述多個(gè)孔的1個(gè)側(cè)面；

上述蒸鍍掩模的制造方法還包括如下工序：將上述各掩模部的側(cè)面與1體的框部相互接合，以便上述1體的框部按照每個(gè)上述掩模部將上述多個(gè)孔包圍。

8.一種顯示裝置的制造方法，其中，

包括如下工序：

準(zhǔn)備由權(quán)利要求6或7所述的蒸鍍掩模的制造方法形成的蒸鍍掩模；

通過(guò)使用了上述蒸鍍掩模的蒸鍍來(lái)形成圖案。