[發(fā)明專利]一種低成本的主動控溫噴淋頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010540062.7
• 申請日: 2020-06-15
• 公開（公告）號: CN113804046B
• 公開（公告）日: 2023-10-13
• 發(fā)明（設計）人: 譚華強;褚鑫輝
• 申請（專利權）人: 拓荊科技股份有限公司
• 主分類號: F28F25/06
• 分類號: F28F25/06;B05B1/00;B05B1/24;C23C14/54;C23C16/52;H01L21/67
• 代理公司: 北京超凡宏宇知識產權代理有限公司 11463
• 代理人: 姜波

本發(fā)明公開了一種低成本的主動控溫噴淋頭，該噴淋頭通過在冷卻環(huán)和噴淋頂板之間增設隔熱層，以將冷卻環(huán)和噴淋頂板進行阻隔，增大二者之間的熱阻，降低導熱率，即使噴淋頂板的溫度超過100℃，由于冷卻環(huán)和噴淋頂板之間有隔熱層進行阻隔，能夠避免噴淋頂板將大量的熱量傳遞到冷卻環(huán)中，防止冷卻環(huán)中的冷卻液溫度驟升沸騰，以及防止氣液混合狀態(tài)的產生，進而確保冷卻環(huán)的冷卻系統(tǒng)持續(xù)有效。通過上述主動控溫噴淋頭的結構設計，可將冷卻液水的控溫由100℃以下，擴充到250℃以下，即實現(xiàn)高溫的控溫，進而降低控溫成本，提高安全性；該噴淋頭具有結構簡單，設計合理、成本低、安全性高等優(yōu)點。

技術領域

本發(fā)明公開涉及半導體鍍膜用設備技術領域，尤其涉及一種低成本的主動控溫噴淋頭。

背景技術

為了提高鍍膜的效果，現(xiàn)有的鍍膜設備中大多采用主動控溫噴淋頭，即通過對噴淋頭的主動溫度控制，實現(xiàn)鍍膜效果的控制與改善。

現(xiàn)有的主動控溫噴淋頭主要包括：噴淋頂板、噴淋面板、冷卻環(huán)、電加熱環(huán)以及溫度傳感器，其中，噴淋面板固定安裝在噴淋頂板的下端端面，冷卻環(huán)、電加熱環(huán)以及溫度傳感器均直接安裝在噴淋頂板上。主動溫控噴淋頭工作時，噴淋面板會吸收加熱盤的輻射熱量以及RF產生的熱量，噴淋面板吸收的熱量流向會從中心向四周邊緣擴散，并傳向噴淋頂板，通過位于噴淋頂板的冷卻環(huán)吸收熱量。當RF射頻不工作時，主要是通過電加熱環(huán)給整個系統(tǒng)提供熱量，維持噴淋面板的溫度平衡，一旦RF工作，電加熱環(huán)通過溫度傳感器對噴淋面板溫度的檢測，會適當?shù)慕档凸β剩S持噴淋面板溫度的穩(wěn)定。

目前，上述的主動控溫噴淋頭對于100℃以下的控溫需求，在冷卻環(huán)中均采用水作為冷卻液進行控溫，將水作為冷卻液不僅成本低，而且安全性高；而當對于100℃以上的控溫需求時，由于采用水作為冷卻液時，噴淋頂板中的熱量會直接快速傳遞到冷卻環(huán)中，導致冷卻環(huán)中的冷卻液溫度快速上升沸騰，變成氣液混合狀態(tài)，導致冷卻環(huán)的控溫系統(tǒng)失效，因此，對于100℃以上的高溫控溫需求時，需要將冷卻液由水替換為專用的高沸點冷卻液，通常為氟化油類，隨著冷卻液的替換，水用循環(huán)泵也需要更換為氟化油類用耐高溫的循環(huán)泵，流量表等元器件都需更換為耐高溫的流量表等元器件，此時不僅成本提高，而且危險系數(shù)也有所提升。

因此，如何降低高溫冷卻時的成本以及危險系數(shù)，成為人們亟待解決的問題。

發(fā)明內容

鑒于此，本發(fā)明提供了一種低成本的主動控溫噴淋頭，以至少解決以往對于高溫冷卻時，存在的成本高、危險系數(shù)大等問題。

本發(fā)明提供的技術方案，具體為，一種低成本的主動控溫噴淋頭，包括：噴淋頂板、噴淋面板、冷卻環(huán)、電加熱環(huán)以及溫度傳感器；

所述噴淋頂板的上表面中央設置有向下凹陷的安裝槽；

所述噴淋面板固定安裝在所述噴淋頂板的下端端面；

所述冷卻環(huán)安裝在所述噴淋頂板中的安裝槽內，且在所述冷卻環(huán)中設置有用于對流冷卻流體流動的通路；

所述電加熱環(huán)物理附接在所述噴淋頂板中的安裝槽內，且套裝在所述冷卻環(huán)的外部；

所述溫度傳感器安裝在所述噴淋頂板上；

其特征在于，所述主動控溫噴淋頭還包括：隔熱層；

所述隔熱層位于所述冷卻環(huán)的下方，將所述冷卻環(huán)與所述噴淋頂板阻隔。

優(yōu)選，所述隔熱層為環(huán)形隔熱層。

進一步優(yōu)選，所述隔熱層是由熱導率5w/m*k的高熱阻材料制成。

進一步優(yōu)選，所述隔熱層是由聚四氟乙烯或聚酰亞胺制成。

進一步優(yōu)選，所述隔熱層為具有高熱阻性能的結構。

進一步優(yōu)選，所述隔熱層的厚度為0.5～10mm。