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[發明專利]一種低成本的主動控溫噴淋頭有效

專利信息
申請號: 202010540062.7 申請日: 2020-06-15
公開(公告)號: CN113804046B 公開(公告)日: 2023-10-13
發明(設計)人: 譚華強;褚鑫輝 申請(專利權)人: 拓荊科技股份有限公司
主分類號: F28F25/06 分類號: F28F25/06;B05B1/00;B05B1/24;C23C14/54;C23C16/52;H01L21/67
代理公司: 北京超凡宏宇知識產權代理有限公司 11463 代理人: 姜波
地址: 110179 遼*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 低成本 主動 噴淋
【權利要求書】:

1.一種低成本的主動控溫噴淋頭,包括:噴淋頂板(1)、噴淋面板(2)、冷卻環(3)、電加熱環(4)以及溫度傳感器(5);

所述噴淋頂板(1)的上表面中央設置有向下凹陷的安裝槽(11);

所述噴淋面板(2)固定安裝在所述噴淋頂板(1)的下端端面;

所述冷卻環(3)安裝在所述噴淋頂板(1)中的安裝槽(11)內,且在所述冷卻環(3)中設置有用于對流冷卻流體流動的通路;

所述電加熱環(4)物理附接在所述噴淋頂板(1)中的安裝槽(11)內,且套裝在所述冷卻環(3)的外部;

所述溫度傳感器(5)安裝在所述噴淋頂板(1)上;

其特征在于,所述主動控溫噴淋頭還包括:隔熱層(6);

所述隔熱層(6)位于所述冷卻環(3)的下方,將所述冷卻環(3)與所述噴淋頂板(1)阻隔。

2.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)為環形隔熱層。

3.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)是由熱導率5w/m*k的高熱阻材料制成。

4.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)是由聚四氟乙烯或聚酰亞胺制成。

5.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)為具有高熱阻性能的結構。

6.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)的厚度為0.5~10mm。

7.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述冷卻環(3)和所述隔熱層(6)均通過螺栓固定安裝在所述噴淋頂板(1)上。

8.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述溫度傳感器(5)為光纖溫度傳感器。

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