[發明專利]一種低成本的主動控溫噴淋頭有效
| 申請號: | 202010540062.7 | 申請日: | 2020-06-15 |
| 公開(公告)號: | CN113804046B | 公開(公告)日: | 2023-10-13 |
| 發明(設計)人: | 譚華強;褚鑫輝 | 申請(專利權)人: | 拓荊科技股份有限公司 |
| 主分類號: | F28F25/06 | 分類號: | F28F25/06;B05B1/00;B05B1/24;C23C14/54;C23C16/52;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇知識產權代理有限公司 11463 | 代理人: | 姜波 |
| 地址: | 110179 遼*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 低成本 主動 噴淋 | ||
1.一種低成本的主動控溫噴淋頭,包括:噴淋頂板(1)、噴淋面板(2)、冷卻環(3)、電加熱環(4)以及溫度傳感器(5);
所述噴淋頂板(1)的上表面中央設置有向下凹陷的安裝槽(11);
所述噴淋面板(2)固定安裝在所述噴淋頂板(1)的下端端面;
所述冷卻環(3)安裝在所述噴淋頂板(1)中的安裝槽(11)內,且在所述冷卻環(3)中設置有用于對流冷卻流體流動的通路;
所述電加熱環(4)物理附接在所述噴淋頂板(1)中的安裝槽(11)內,且套裝在所述冷卻環(3)的外部;
所述溫度傳感器(5)安裝在所述噴淋頂板(1)上;
其特征在于,所述主動控溫噴淋頭還包括:隔熱層(6);
所述隔熱層(6)位于所述冷卻環(3)的下方,將所述冷卻環(3)與所述噴淋頂板(1)阻隔。
2.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)為環形隔熱層。
3.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)是由熱導率5w/m*k的高熱阻材料制成。
4.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)是由聚四氟乙烯或聚酰亞胺制成。
5.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)為具有高熱阻性能的結構。
6.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述隔熱層(6)的厚度為0.5~10mm。
7.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述冷卻環(3)和所述隔熱層(6)均通過螺栓固定安裝在所述噴淋頂板(1)上。
8.根據權利要求1所述低成本的主動控溫噴淋頭,其特征在于,所述溫度傳感器(5)為光纖溫度傳感器。
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