[發明專利]一種長條型鉬靶的制備方法

有效

• 申請號: 202010536764.8
• 申請日: 2020-06-12
• 公開（公告）號: CN111647860B
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 方宏;孫虎民;岳燦甫
• 申請（專利權）人: 洛陽高新四豐電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/34;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/20;B22F3/24;B22F5/00
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 李現艷

1.一種長條型鉬靶的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

步驟一：選取適量的鉬粉，進行膠套裝粉，將裝過粉的膠套進行冷等靜壓成型，得到坯體；

步驟二：將步驟一得到的坯體在氫氣保護氣氛下進行燒結，得到燒結坯；

步驟三：將步驟二得到的燒結坯先在氫氣保護下進行加熱，然后再進行熱擠壓，之后退火、校平；

步驟四：將步驟三處理后的產品進行磨削等機加工，得到最終所需尺寸的鉬靶材產品；

步驟二中燒結的過程為：先以0.5~2℃/min的升溫速率升溫至700~1000℃，并在此溫度下保溫1~2h，再以1~3℃/min的升溫速率升溫至1100~1400℃，并在此溫度下保溫1~2h，然后再以1~4℃/min的升溫速率升溫至最高燒結溫度1800~2300℃，并在此溫度下進行保溫，保溫時間為10~20h，保溫結束后，自然隨爐冷卻至室溫，開爐取燒結坯；

步驟三中熱擠壓前的加熱溫度為1200~1500℃，保溫時間為2~3h；

步驟三中熱擠壓的擠壓比為3.5~4.5。

2.根據權利要求1所述的一種長條型鉬靶的制備方法，其特征在于：步驟一中鉬粉的純度不低于99.95%，費氏粒度為3.5~4.5um，裝入膠套內的鉬粉需過160~200目篩。

3.根據權利要求1所述的一種長條型鉬靶的制備方法，其特征在于：步驟一中冷等靜壓成型的壓力為100~300MPa，保壓時間為3~10min。

4.根據權利要求1所述的一種長條型鉬靶的制備方法，其特征在于：步驟三中熱擠壓完成后鉬靶材的退火溫度為1000~1400℃，保溫時間為0.5~2h。