[發(fā)明專利]一種微機電設備及其制造方法

在審

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• 申請日: 2020-06-12
• 公開（公告）號: CN111675189A
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發(fā)明（設計）人: 柳偉;柳卓;柳偉政
• 申請（專利權）人: 湖南威斯特機電科技有限公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 王萌

本發(fā)明公開了一種微機電設備及其制造方法，包括微機電本體、緩沖組件、固定組件、限位柱、第一限位塊、安裝板、弧形桿、安裝座、限位板和緩沖墊，所述安裝座的內部頂端四角分別與弧形桿的底端焊接，所述弧形桿中心處開設有限位孔，且限位柱的底端貫穿該限位塊與第一限位塊的頂端中心處通過螺栓固定連接，所述限位柱的頂端分別與限位板的底端四角通過螺栓固定連接，該發(fā)明利用安裝的固定組件，有利于對微機電本體進行固定，簡化了傳統(tǒng)中的固定安裝步驟，提高了工作效率，同時利用安裝的緩沖組件以及緩沖墊，有利于減震，避免了在運輸過程中產生的顛簸導致微機電本體內精密零件的損壞，延長了該發(fā)明的使用壽命。

技術領域

本發(fā)明涉及微機電設備技術領域，具體為一種微機電設備及其制造方法。

背景技術

微機電系統(tǒng)(縮寫為MEMS)是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業(yè)技術，它的操作范圍在微米范圍內。比它更小的，在納米范圍的類似的技術被稱為納機電系統(tǒng)，微機電系統(tǒng)(MEMS)是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發(fā)展起來的，其中微機電設備就是以微機電系統(tǒng)為基礎進行生產，傳統(tǒng)的微機電設備安裝步驟繁瑣，降低了安裝效率，同時在運輸的過程中產生的顛簸易導致微機電設備內精密零件的損壞，縮短了微機電設備的使用壽命。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于提供一種微機電設備及其制造方法，以解決上述背景技術中提出的問題。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明提供如下技術方案：一種微機電設備，包括微機電本體、緩沖組件、固定組件、限位柱、第一限位塊、安裝板、弧形桿、安裝座、限位板和緩沖墊，所述安裝座的內部頂端四角分別與弧形桿的底端焊接，所述弧形桿中心處開設有限位孔，且限位柱的底端貫穿該限位塊與第一限位塊的頂端中心處通過螺栓固定連接，所述限位柱的頂端分別與限位板的底端四角通過螺栓固定連接，所述安裝座的內部頂端均勻與六個相互對應的緩沖組件的底端焊接；

所述緩沖組件包括第二限位塊、底板、第一彈簧、第二彈簧、滑塊、固定塊、連接桿、連接柱、頂板和限位管，所述安裝座的內部頂端均勻與六個相互對應的底板的底端焊接，所述限位管的內部安裝有第一彈簧，且第一彈簧的底端與底板的頂端中心處固定連接，所述第二限位塊的頂端中心處分別與頂板的底端中心處焊接，且限位板的底端均勻與頂板的頂端通過螺栓固定連接，所述連接柱的一端分別與限位管的兩側中心底端通過螺栓固定連接，所述連接柱的另一端分別與固定塊的一側中心處通過螺栓固定連接，所述安裝座的頂端中心四角分別與緩沖墊的底端通過膠粘劑粘接，所述安裝板的兩側中心兩端分別開設有限位凹槽，且固定組件的一端位于該凹槽的內部；

所述固定組件包括限位桿、移動板、緊固螺栓、豎直桿、第一固定座、移動桿、第三彈簧、滑座、第二固定座和固定柱，所述安裝板的兩側中心兩端分別開設有限位凹槽，且限位桿的一端位于該凹槽的內部，所述限位桿的另一端分別與移動板的一側中心兩側焊接，所述移動板的底端中心兩側分別與豎直桿的頂端通過螺栓固定連接，所述固定柱的一端與第二固定座的一側通過螺栓固定連接，所述固定柱的另一端分別與第一固定座的一側中心處通過螺栓固定連接，所述第一固定座的頂端分別與限位板的底端四角焊接，所述安裝座的兩側中心處分別開設有凹槽。

一種微機電設備的制造方法，包括步驟一，襯底處理；步驟二，耦合電極；步驟三，開設通孔；步驟四，去除犧牲膜；

其中上述步驟一中，在襯底表面上直接由第一隔膜形成功能元件以及構造體，且功能元件以及構造體均位于由第一隔膜與襯底之間形成的腔室中，第一隔膜上開設有開口，該開口底端直接使襯底裸露，然后在襯底裸露處形成第一犧牲膜；

其中上述步驟二中，然后將第一電極耦合在第一犧牲膜上，第二電極耦合在襯底上，且一電極和第二電極橫向相鄰，且第一電極和第二電極材料為鋁、銅、鎳、銀、金或其組合形成的合金；