[發明專利]一種微機電設備及其制造方法

在審

• 申請號: 202010535717.1
• 申請日: 2020-06-12
• 公開（公告）號: CN111675189A
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 柳偉;柳卓;柳偉政
• 申請（專利權）人: 湖南威斯特機電科技有限公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 王萌

1.一種微機電設備，包括微機電本體(1)、緩沖組件(2)、固定組件(3)、限位柱(4)、第一限位塊(5)、安裝板(6)、弧形桿(7)、安裝座(8)、限位板(9)和緩沖墊(10)，其特征在于：所述安裝座(8)的內部頂端四角分別與弧形桿(7)的底端焊接，所述弧形桿(7)中心處開設有限位孔，且限位柱(4)的底端貫穿該限位塊與第一限位塊(5)的頂端中心處通過螺栓固定連接，所述限位柱(4)的頂端分別與限位板(9)的底端四角通過螺栓固定連接，所述安裝座(8)的內部頂端均勻與六個相互對應的緩沖組件(2)的底端焊接；

所述緩沖組件(2)包括第二限位塊(201)、底板(202)、第一彈簧(203)、第二彈簧(204)、滑塊(205)、固定塊(206)、連接桿(207)、連接柱(208)、頂板(209)和限位管(210)，所述安裝座(8)的內部頂端均勻與六個相互對應的底板(202)的底端焊接，所述限位管(210)的內部安裝有第一彈簧(203)，且第一彈簧(203)的底端與底板(202)的頂端中心處固定連接，所述第二限位塊(201)的頂端中心處分別與頂板(209)的底端中心處焊接，且限位板(9)的底端均勻與頂板(209)的頂端通過螺栓固定連接，所述連接柱(208)的一端分別與限位管(210)的兩側中心底端通過螺栓固定連接，所述連接柱(208)的另一端分別與固定塊(206)的一側中心處通過螺栓固定連接，所述安裝座(8)的頂端中心四角分別與緩沖墊(10)的底端通過膠粘劑粘接，所述安裝板(6)的兩側中心兩端分別開設有限位凹槽，且固定組件(3)的一端位于該凹槽的內部；

所述固定組件(3)包括限位桿(301)、移動板(302)、緊固螺栓(303)、豎直桿(304)、第一固定座(305)、移動桿(306)、第三彈簧(307)、滑座(308)、第二固定座(309)和固定柱(310)，所述安裝板(6)的兩側中心兩端分別開設有限位凹槽，且限位桿(301)的一端位于該凹槽的內部，所述限位桿(301)的另一端分別與移動板(302)的一側中心兩側焊接，所述移動板(302)的底端中心兩側分別與豎直桿(304)的頂端通過螺栓固定連接，所述固定柱(310)的一端與第二固定座(309)的一側通過螺栓固定連接，所述固定柱(310)的另一端分別與第一固定座(305)的一側中心處通過螺栓固定連接，所述第一固定座(305)的頂端分別與限位板(9)的底端四角焊接，所述安裝座(8)的兩側中心處分別開設有凹槽。

2.一種微機電設備的制造方法，包括步驟一，襯底處理；步驟二，耦合電極；步驟三，開設通孔；步驟四，去除犧牲膜；其特征在于：

其中上述步驟一中，在襯底表面上直接由第一隔膜形成功能元件以及構造體，且功能元件以及構造體均位于由第一隔膜與襯底之間形成的腔室中，第一隔膜上開設有開口，該開口底端直接使襯底裸露，然后在襯底裸露處形成第一犧牲膜；

其中上述步驟二中，然后將第一電極耦合在第一犧牲膜上，第二電極耦合在襯底上，且一電極和第二電極橫向相鄰，且第一電極和第二電極材料為鋁、銅、鎳、銀、金或其組合形成的合金；

其中上述步驟三中，然后將第一犧牲膜上形成第二犧牲膜，第二犧牲膜覆蓋第一電極，且第一犧牲膜和第二犧牲膜相互平行，然后在第二隔膜和第二犧牲膜上形成第一介質層，然后將第一介質層對應第二犧牲膜的位置上開設有若干個通孔，且該通孔均勻排布；

其中上述步驟四中，隨后利用步驟三中第一介質層對應第二犧牲膜的位置上開設的通孔通過光刻法和蝕刻法去除第二犧牲膜和第二犧牲膜，然后在第一介質層開設的通孔內部填充第二介質層即可，且第一介質層用氮化硅形成，第二介質層用多晶硅、氧化硅和氮氧化硅形成。

3.根據權利要求1所述的一種微機電設備，其特征在于：所述底板(202)的頂端中心處分別與限位管(210)的底端通過螺栓固定連接，所述第二限位塊(201)的底端位于限位管(210)的內部頂端。

4.根據權利要求1所述的一種微機電設備，其特征在于：所述頂板(209)的底端兩側中心處分別與連接桿(207)的一端鉸接，所述連接桿(207)的另一端分別與滑塊(205)的頂端鉸接，所述滑塊(205)位于連接柱(208)上。