[發明專利]用于原位電化學掃描電鏡觀測的樣品臺及測試系統

在審

• 申請號: 202010533794.3
• 申請日: 2020-06-12
• 公開（公告）號: CN112611777A
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 蔣蓉蓉;周冬;鄧偉;李明;盧煥明
• 申請（專利權）人: 中國科學院寧波材料技術與工程研究所
• 主分類號: G01N23/2251
• 分類號: G01N23/2251
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 趙世發

1.一種用于原位電化學掃描電鏡觀測的樣品臺，其特征在于包括樣品臺主體和樣品固定組件，所述樣品臺主體內部具有一收容腔體，所述樣品固定組件活動設置在所述收容腔體內，且所述樣品固定組件還與所述收容腔體圍合形成一氣倉，所述氣倉內預儲有保護氣體，且所述保護氣體能夠經由一單向氣閥排出，

其中，所述樣品固定組件能夠在外力的驅使下活動于第一工位和第二工位，當所述樣品固定組件位于第一工位時，所述樣品被封裝在所述氣倉內，而當所述樣品固定組件位于第二工位時，所述樣品暴露在所述氣倉外部。

2.根據權利要求1所述的樣品臺，其特征在于：所述樣品固定組件與所述收容腔體之間還設置有彈性部件，驅使所述樣品固定組件活動于第一工位和第二工位的外力為所述樣品固定組件所處環境的大氣壓力與所述彈性部件所提供的彈力的合力。

3.根據權利要求2所述的樣品臺，其特征在于：所述彈性部件包括至少一個彈簧。

4.根據權利要求1所述的樣品臺，其特征在于：所述樣品固定組件包括兩個相對設置支撐板，在所述兩個支撐板之間形成用于固定樣品的夾持空間。

5.根據權利要求4所述的樣品臺，其特征在于：所述樣品為電池，所述兩個支撐板上還分別設置有與所述電池的正極、負極相匹配的集流體。

6.根據權利要求5所述的樣品臺，其特征在于：所述支撐板與所述集流體一體設置，所述支撐板為金屬板。

7.根據權利要求1所述的樣品臺，其特征在于：所述樣品固定組件與所述收容腔體之間還設置有密封部件，所述密封部件與所述收容腔體密封配合并用于使所述氣倉保持密閉狀態；和/或，所述密封部件包括密封圈。

8.根據權利要求1所述的樣品臺，其特征在于：所述樣品固定組件上還設置有壓力監測部件，所述壓力監測部件至少用于監測樣品內部的壓力變化信息；和/或，所述樣品固定組件上還設置有溫控組件，所述溫控組件至少用于調節樣品反應環境的溫度；和/或，與所述樣品的正極、負極、溫控組件、壓力監測部件連接的傳輸線集成設置在同一接口上。

9.根據權利要求1所述的樣品臺，其特征在于：所述樣品臺主體上還設置有安裝定位結構，所述安裝定位結構包括契合槽和定位銷。

10.一種原位電化學掃描電鏡測試系統，其特征在于包括掃描電鏡和權利要求1-9中任一項所述的樣品臺，所述的樣品臺設置在所述掃描電鏡的樣品腔內。