[發明專利]一種密封罩系統在審
| 申請號： | 202010530765.1 | 申請日： | 2020-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN112113723A | 公開（公告）日： | 2020-12-22 |
| 發明（設計）人： | 李永疇 | 申請（專利權）人： | 泉芯集成電路制造（濟南）有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/28 | 分類號： | G01M3/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李婷婷 |
| 地址： | 250101 山東省濟南市*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 密封 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種密封罩系統，其特征在于，包括：
半封閉腔體，所述半封閉腔體采用硬質板材形成，用于罩設在含氟化物設備上，并與所述含氟化物設備之間密封，形成密封腔體；
密封管，所述密封管的一端與所述半封閉腔體連接；
抽氣結構，所述抽氣結構與所述密封管的另一端連接，用于將所述密封腔體內的泄漏氣體抽出，以便進行處理。
2.根據權利要求1所述的密封罩系統，其特征在于，所述硬質板材為透明塑料板。
3.根據權利要求2所述的密封罩系統，其特征在于，所述透明塑料板為壓克力板。
4.根據權利要求1所述的密封罩系統，其特征在于，所述密封管為塑料管。
5.根據權利要求1所述的密封罩系統，其特征在于，所述硬質板材與所述密封管之間通過第一氣管接頭連接。
6.根據權利要求1所述的密封罩系統，其特征在于，還包括泡棉膠，所述半封閉腔體與所述含氟化物設備之間還包括泡棉膠，所述泡棉膠用于將所述半封閉腔體與所述含氟化物設備之間貼合且密封。
7.根據權利要求1所述的密封罩系統，其特征在于，所述密封管上還設置有量測孔，用于安裝監測裝置，以對所述密封管內的泄漏氣體密度進行監測。
8.根據權利要求7所述的密封罩系統，其特征在于，所述量測孔處設置有第二氣管接頭。
9.根據權利要求1所述的密封罩系統，其特征在于，所述抽氣結構為真空抽氣系統。
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