[發明專利]晶圓背面的檢測方法、設備和存儲介質

在審

• 申請號: 202010528013.1
• 申請日: 2020-06-11
• 公開（公告）號: CN111815565A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 王蓓蕾;蔣慧超
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/11;G06T7/12;G06T7/62;G06T7/66
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 黎偉

1.一種晶圓背面的檢測方法，其特征在于，包括：

獲取目標圖像，所述目標圖像是監控裝置對晶圓背面的圖像進行處理后得到的圖像；

對所述目標圖像進行處理，得到顯示有目標區域的圖像，所述目標區域是所述晶圓背面對應的區域；

提取得到所述目標區域的邊緣圖形；

對所述邊緣圖形進行直線檢測，得到所述邊緣圖形中的直線圖形。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述對所述目標圖像進行處理，得到顯示有目標區域的圖像，包括：

對所述目標圖像進行灰度轉化，得到灰度目標圖像；

對所述灰度目標圖像進行二值化處理，得到二值化圖像；

對所述二值化圖像進行識別，得到所述目標區域；

對所述目標圖像中除所述晶圓背面對應的區域以外的其它區域進行遮擋，得到所述顯示有目標區域的圖像。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述對所述二值化圖像進行識別，得到所述晶圓背面對應的區域，包括：

通過霍夫圓環變換檢測得到所述晶圓的圓心坐標和半徑；

根據所述圓心坐標和半徑識別得到所述目標區域。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述提取得到所述目標區域的邊緣圖形，包括：

對所述顯示有目標區域的圖像進行濾波模糊，得到模糊圖像；

對所述模糊圖像進行灰度轉化，得到灰度模糊圖像；

對所述灰度模糊圖像進行邊緣提取，得到所述邊緣圖形。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述對所述邊緣圖形進行直線檢測，得到所述邊緣圖形中的直線圖形，包括：

通過霍夫線變換對所述邊緣圖形進行直線檢測，識別得到所述邊緣圖形中的直線；

對所述直線畫線得到所述直線圖形。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述對所述灰度圖像進行邊緣提取，包括：

通過Canny邊緣檢測對所述灰度模糊圖像進行所述邊緣提取。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述對所述顯示有目標區域的圖像進行濾波模糊，包括：

通過高斯模糊對所述顯示有目標區域的圖像進行所述濾波模糊。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取目標圖像，包括：

獲取得到實時圖像，所述實時圖像是所述監控裝置拍攝作業中的晶圓得到的圖像；

對所述實時圖像進行灰度轉化，得到灰度實時圖像；

對所述灰度實時圖像進行識別，得到所述目標圖像。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述對所述灰度實時圖像進行識別，包括：

通過識別模型對所述灰度實時圖像進行識別，所述識別模型是對樣本圖像使用局部二值模式直方圖進行訓練得到的。

10.根據權利要求1至9任一所述的方法，其特征在于，所述對所述邊緣圖形進行直線檢測，得到所述邊緣圖形中的直線圖形之后，還包括：

顯示所述邊緣圖形和所述直線圖形。

11.根據權利要求10所述的方法，其特征在于，所述對所述邊緣圖形進行直線檢測之后，還包括：

若在所述邊緣圖形中未檢測到直線，則存儲所述邊緣圖形。

12.一種計算機設備，其特征在于，所述計算機設備包括處理器和存儲器，所述存儲器中存儲有至少一條指令或者程序，所述指令或者程序由所述處理器加載并執行以實現如權利要求1至11任一所述的晶圓背面的檢測方法。

13.一種計算機可讀存儲介質，其特征在于，所述存儲介質中存儲有至少一條指令或者程序，所述指令或者程序由處理器加載并執行以實現如權利要求1至11任一所述的晶圓背面的檢測方法。