[發(fā)明專利]用于處理基板的裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010525555.3
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN112071774A
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金大城;樸恩雨
• 申請（專利權(quán)）人: 細美事有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 車今智

1.一種用于處理基板的裝置，所述裝置包括：

處理容器，在所述處理容器中具有處理空間；

基板支承單元，所述基板支承單元配置為支承所述處理空間中的所述基板；和

液體分配單元，所述液體分配單元配置為將處理液體分配到放置在所述基板支承單元上的所述基板上，

其中，所述液體分配單元包括：

處理液體管，所述處理液體流動通過所述處理液體管；

恒溫水管，恒溫水流動通過所述恒溫水管，所述恒溫水管配置為圍繞所述處理液體管，其中所述恒溫水將流動通過所述處理液體管的所述處理液體維持在設(shè)定溫度；

恒溫水供應(yīng)管，所述恒溫水供應(yīng)管配置為將所述恒溫水供應(yīng)至所述恒溫水管；和

活化構(gòu)件，所述活化構(gòu)件安裝在所述恒溫水供應(yīng)管中并且配置為活化所述恒溫水中的離子。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述恒溫水供應(yīng)管包括：

上游側(cè)供應(yīng)管，所述上游側(cè)供應(yīng)管配置為連接恒溫水源和所述活化構(gòu)件；和

下游側(cè)供應(yīng)管，所述下游側(cè)供應(yīng)管配置為連接所述恒溫水管和所述活化構(gòu)件，并且

其中，所述活化構(gòu)件為從所述上游側(cè)供應(yīng)管和所述下游側(cè)供應(yīng)管可拆卸的。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其中，所述活化構(gòu)件包括：

金屬管；和

鄰近所述金屬管設(shè)置的有機管。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述有機管包括：

第一有機管，所述第一有機管配置為連接所述上游側(cè)供應(yīng)管和所述金屬管的一端；以及

第二有機管，所述第二有機管配置為連接所述下游側(cè)供應(yīng)管和所述金屬管的相對端。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，所述第一有機管和所述第二有機管的每個具有形成在其中的多個流體通道，所述恒溫水在所述多個流體通道中流動。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述有機管具有形成在其中的多個流體通道，所述恒溫水在所述多個流體通道中流動，并且

其中，所述金屬管具有形成在其中的單個流體通道，所述單個流體通道與所述多個流體通道連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項所述的裝置，其中，所述金屬管由含鋅的材料形成，并且

其中，所述第一有機管和所述第二有機管的每個由含碳的材料形成。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其中，所述液體分配單元還包括：

歧管，所述歧管配置為連接所述恒溫水管和所述恒溫水供應(yīng)管；和

恒溫水收集管，所述恒溫水收集管配置為將來自所述歧管的所述恒溫水收集到所述恒溫水源中。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中，所述活化構(gòu)件另外安裝在所述恒溫水收集管中。