[發明專利]一種片材承載裝置及晶圓檢測設備

有效

• 申請號: 202010524180.9
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN111681984B
• 公開（公告）日: 2023-09-15
• 發明（設計）人: 趙赫
• 申請（專利權）人: 上海御微半導體技術有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66;G01N21/01;G01N21/95
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種片材承載裝置，包括用于承載片材的載臺(1)、用于驅動所述載臺(1)旋轉的轉臺(2)，以及分別用于在所述載臺(1)及所述轉臺(2)之間轉接氣路和電路的配氣機構(3)和配電機構(4)，所述轉臺(2)包括可轉動的轉子(21)以及套置于所述轉子(21)外的定子(22)，其特征在于：

所述配氣機構(3)包括分別設置于所述載臺(1)和所述轉子(21)的第一配氣組件(31)和第二配氣組件(32)；

所述配電機構(4)包括分別設置于所述載臺(1)和所述轉子(21)的第一配電組件(41)和第二配電組件(42)；

所述轉子(21)與所述載臺(1)可拆卸連接，當所述轉子(21)與所述載臺(1)相連接時，所述第一配氣組件(31)和所述第二配氣組件(32)插接相連并形成轉接氣路、所述第一配電組件(41)和所述第二配電組件(42)插接相連并形成轉接電路；

所述第一配氣組件(31)包括氣管(311)，所述氣管(311)的一端伸出所述載臺(1)；

所述第二配氣組件(32)包括第一氣道(321)和彈性柱塞(322)，所述第一氣道(321)形成于所述轉子(21)且末端連通至所述轉子(21)與所述載臺(1)相對的承載面，所述彈性柱塞(322)能在舒張時封堵所述第一氣道(321)的末端；

當所述轉子(21)與所述載臺(1)相連接時，所述氣管(311)抵壓所述彈性柱塞(322)并插置于所述第一氣道(321)，以與所述第一氣道(321)連通形成所述轉接氣路；

所述定子(22)與所述轉子(21)之間設置有氣滑環(6)，所述氣滑環(6)分別與所述第一氣道(321)及所述定子(22)上形成的第二氣道(221)連通。

2.根據權利要求1所述的片材承載裝置，其特征在于，所述氣滑環(6)包括若干間隔設置于所述定子(22)及所述轉子(21)之間的密封件(61)，所述密封件(61)呈環形，相鄰的兩個所述密封件(61)與所述定子(22)及所述轉子(21)合圍形成環形的氣腔(62)，所述氣腔(62)分別與所述第一氣道(321)及所述第二氣道(221)連通；

所述轉子(21)與所述密封件(61)接觸的外壁的粗糙度小于Ra0.8。

3.根據權利要求2所述的片材承載裝置，其特征在于，所述密封件(61)包括：

柔性的第一環形件(611)；

剛性的第二環形件(612)，嵌設相連于所述第一環形件(611)的外側；以及

彈性的第三環形件(613)，呈彈性變形形態地設置于第二環形件(612)及所述定子(22)的內壁之間，以持續抵壓所述第二環形件(612)并使所述第一環形件(611)與所述轉子(21)的外壁貼合。

4.根據權利要求3所述的片材承載裝置，其特征在于，所述定子(22)的內壁上具有限定所述密封件(61)的空間位置的限位部(222)；

所述第一環形件(611)由PTFE制成；

所述第二環形件(612)由銅制成；

所述第三環形件(613)由橡膠制成。

5.根據權利要求1所述的片材承載裝置，其特征在于：

所述第一配電組件(41)包括接線柱(411)，所述接線柱(411)伸出所述載臺(1)；

所述第二配電組件(42)包括接線槽(421)以及容置于接線槽(421)內的彈性元件(422)和連接片(423)，所述彈性元件(422)的一端與所述接線槽(421)的內壁連接或抵接，所述彈性元件(422)的另一端連接有所述連接片(423)；

當所述轉子(21)與所述載臺(1)相連接時，所述接線柱(411)插置于所述接線槽(421)，所述彈性元件(422)抵壓所述連接片(423)，以使所述連接片(423)與所述接線柱(411)連接形成所述轉接電路。

6.根據權利要求5所述的片材承載裝置，其特征在于：所述彈性元件(422)能在伸張時抵壓所述連接片(423)，使所述連接片(423)封堵所述接線槽(421)；所述連接片(423)能在被所述接線柱(411)抵壓時產生變形并與所述接線柱(411)貼附。