[發(fā)明專利]半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010522961.4
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN111678347B
• 公開（公告）日: 2023-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李洪利;宋新豐
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;F27D21/02
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其中，半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)包括門板，且門板上開設(shè)有第一窗口，第一窗口上設(shè)置有用于觀察半導(dǎo)體加工設(shè)備內(nèi)部的視窗，視窗至少包括第一層觀察窗、第二層觀察窗以及位于第一層觀察窗、第二層觀察窗之間用于隔離第一層觀察窗、第二層觀察窗的隔離墊。本發(fā)明提供的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備，能夠提半導(dǎo)體加工設(shè)備的使用安全性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備。

背景技術(shù)

在立式爐設(shè)備中，由于硅片需要在微環(huán)境中進(jìn)行例如傳輸和散熱等多種步驟，因此，微環(huán)境在立式爐設(shè)備中占有重要位置，而立式爐設(shè)備的后門起著密封和防護(hù)的作用，是保證微環(huán)境內(nèi)部氧含量與壓力的重要部件。后門上通常設(shè)置有視窗玻璃，以便于工作人員觀察立式爐設(shè)備的內(nèi)部情況。

但是，在半導(dǎo)體工藝結(jié)束進(jìn)行降舟階段時，由于硅片、舟和保溫桶等溫度很高，立式爐設(shè)備內(nèi)部的熱量以及石英件的熱量會傳遞到微環(huán)境和后門，因此，后門上的視窗玻璃的溫度都會很高，而工作人員在通過視窗玻璃觀察立式爐設(shè)備的內(nèi)部情況，以及進(jìn)行軟件操作時都會距離視窗玻璃較近，這就導(dǎo)致工作人員很容易被視窗玻璃的高溫所燙傷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其能夠提高半導(dǎo)體加工設(shè)備的使用安全性。

為實現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，包括門板，且所述門板上開設(shè)有第一窗口，所述第一窗口上設(shè)置有用于觀察所述半導(dǎo)體加工設(shè)備內(nèi)部的視窗，

所述視窗至少包括第一層觀察窗、第二層觀察窗以及位于所述第一層觀察窗、第二層觀察窗之間用于隔離所述第一層觀察窗、第二層觀察窗的隔離墊。

優(yōu)選的，所述門板至少包括第一層隔板、第二層隔板和后門板，所述第一層隔板與所述后門板相對平行設(shè)置，所述第二層隔板設(shè)置于所述第一層隔板與所述后門板之間；

所述第一層隔板用于將所述半導(dǎo)體加工設(shè)備產(chǎn)生的熱輻射波反射到所述半導(dǎo)體加工設(shè)備內(nèi)部；所述第二層隔板用于吸收所述門板內(nèi)部的熱量；且所述第一層隔板、第二層隔板之間留有預(yù)設(shè)間距。

優(yōu)選的，所述門板內(nèi)部、沿所述門板的厚度方向，至少設(shè)置有用于加強(qiáng)所述門板強(qiáng)度的第一加強(qiáng)筋、第二加強(qiáng)筋和第三加強(qiáng)筋，所述第一加強(qiáng)筋和所述第三加強(qiáng)筋穿過所述第二層隔板，將所述第二層隔板與所述后門板連接。

優(yōu)選的，所述門板與所述視窗之間設(shè)置有環(huán)形彈性密封墊，所述環(huán)形彈性密封墊沿所述視窗的周向設(shè)置，并分別與所述視窗和所述門板連接。

優(yōu)選的，所述門結(jié)構(gòu)還包括環(huán)形壓板，所述環(huán)形壓板與所述視窗相對設(shè)置，并分別與所述第一加強(qiáng)筋和所述第二加強(qiáng)筋連接，所述環(huán)形壓板用于壓緊所述環(huán)形彈性密封墊與所述視窗。

優(yōu)選的，所述第一加強(qiáng)筋和所述第二加強(qiáng)筋設(shè)置在所述視窗的周圍；所述門結(jié)構(gòu)還包括調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件設(shè)置在所述環(huán)形壓板與第一加強(qiáng)筋和所述第二加強(qiáng)筋的連接處，用于調(diào)節(jié)所述環(huán)形壓板與第一加強(qiáng)筋和所述第二加強(qiáng)筋之間的距離，以調(diào)節(jié)所述環(huán)形壓板對所述環(huán)形彈性密封墊的壓力。

優(yōu)選的，所述隔離墊呈環(huán)狀，并沿所述第一層觀察窗和所述第二層觀察窗的周向設(shè)置，且所述隔離墊上設(shè)置有沿所述隔離墊的徑向貫穿所述隔離墊的排氣槽。

優(yōu)選的，所述第一層隔板與所述后門板之間設(shè)置有門板密封墊。

優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)頂絲和與所述調(diào)節(jié)頂絲螺紋配合的調(diào)節(jié)螺紋孔，其中，所述調(diào)節(jié)螺紋孔開設(shè)在所述第一加強(qiáng)筋和所述第二加強(qiáng)筋與所述環(huán)形壓板的連接面上；

所述調(diào)節(jié)頂絲貫穿所述環(huán)形壓板設(shè)置，并與所述調(diào)節(jié)螺紋孔對應(yīng)設(shè)置，通過旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)頂絲，以調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)頂絲伸出其所對應(yīng)的所述調(diào)節(jié)螺紋孔的長度。