[發(fā)明專利]半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010522961.4
• 申請(qǐng)日: 2020-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN111678347B
• 公開（公告）日: 2023-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李洪利;宋新豐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): F27D1/18
• 分類號(hào): F27D1/18;F27D21/02
• 代理公司: 北京國(guó)昊天誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，包括門板，且所述門板上開設(shè)有第一窗口，所述第一窗口上設(shè)置有用于觀察所述半導(dǎo)體加工設(shè)備內(nèi)部的視窗，其特征在于，所述門板至少包括第一層隔板、第二層隔板和后門板，所述第二層隔板設(shè)置于所述第一層隔板與所述后門板之間，且所述第一層隔板、第二層隔板之間留有預(yù)設(shè)間距；所述視窗設(shè)置于所述第一層隔板和所述后門板圍成的空間內(nèi)，所述門板內(nèi)部、沿所述門板的厚度方向，至少設(shè)置有用于加強(qiáng)所述門板強(qiáng)度的第一加強(qiáng)筋，所述第一加強(qiáng)筋穿過(guò)所述第二層隔板，將所述第二層隔板與所述后門板連接；

所述視窗至少包括第一層觀察窗、第二層觀察窗以及位于所述第一層觀察窗、第二層觀察窗之間用于隔離所述第一層觀察窗、第二層觀察窗的隔離墊；

所述隔離墊呈環(huán)狀，并沿所述第一層觀察窗和所述第二層觀察窗的周向設(shè)置，且所述隔離墊上設(shè)置有沿所述隔離墊的徑向貫穿所述隔離墊的排氣槽；

所述門結(jié)構(gòu)還包括環(huán)形壓板，所述環(huán)形壓板與所述視窗相對(duì)設(shè)置，并與所述第一加強(qiáng)筋連接，所述第一層觀察窗和所述第二層觀察窗之間的空間通過(guò)所述排氣槽與所述環(huán)形壓板、所述第一加強(qiáng)筋和所述視窗圍成的空間連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一層隔板與所述后門板相對(duì)平行設(shè)置；

所述第一層隔板用于將所述半導(dǎo)體加工設(shè)備產(chǎn)生的熱輻射波反射到所述半導(dǎo)體加工設(shè)備內(nèi)部；所述第二層隔板用于吸收所述門板內(nèi)部的熱量。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述門板內(nèi)部、沿所述門板的厚度方向，至少設(shè)置有用于加強(qiáng)所述門板強(qiáng)度的第二加強(qiáng)筋和第三加強(qiáng)筋，所述第三加強(qiáng)筋穿過(guò)所述第二層隔板，將所述第二層隔板與所述后門板連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述門板與所述視窗之間設(shè)置有環(huán)形彈性密封墊，所述環(huán)形彈性密封墊沿所述視窗的周向設(shè)置，并分別與所述視窗和所述門板連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述環(huán)形壓板與所述第二加強(qiáng)筋連接，所述環(huán)形壓板用于壓緊所述環(huán)形彈性密封墊與所述視窗。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一加強(qiáng)筋和所述第二加強(qiáng)筋設(shè)置在所述視窗的周圍；所述門結(jié)構(gòu)還包括調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件設(shè)置在所述環(huán)形壓板與第一加強(qiáng)筋和所述第二加強(qiáng)筋的連接處，用于調(diào)節(jié)所述環(huán)形壓板與第一加強(qiáng)筋和所述第二加強(qiáng)筋之間的距離，以調(diào)節(jié)所述環(huán)形壓板對(duì)所述環(huán)形彈性密封墊的壓力。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一層隔板與所述后門板之間設(shè)置有門板密封墊。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)頂絲和與所述調(diào)節(jié)頂絲螺紋配合的調(diào)節(jié)螺紋孔，其中，所述調(diào)節(jié)螺紋孔開設(shè)在所述第一加強(qiáng)筋和所述第二加強(qiáng)筋與所述環(huán)形壓板的連接面上；

所述調(diào)節(jié)頂絲貫穿所述環(huán)形壓板設(shè)置，并與所述調(diào)節(jié)螺紋孔對(duì)應(yīng)設(shè)置，通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)頂絲，以調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)頂絲伸出其所對(duì)應(yīng)的所述調(diào)節(jié)螺紋孔的長(zhǎng)度。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一層隔板具有反光面。

10.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括半導(dǎo)體工藝腔室，其特征在于，所述工藝腔室的腔室壁上設(shè)置有如權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備的門結(jié)構(gòu)。