[發明專利]電磁感應型編碼器

在審

• 申請號: 202010521840.8
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN112082580A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 森洋篤;林賢一;小林直樹
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01D5/245
• 分類號: G01D5/245
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邸萬奎

1.一種電磁感應型編碼器，包括：

檢測頭；和

標尺，面對檢測頭并且被配置為在測量方向上相對于檢測頭相對移動,

其中，所述檢測頭具有第一收發器線圈和第二收發器線圈，第一收發器線圈用于第一軌道并且被配置為產生磁通量，第二收發器線圈用于第二軌道并且被配置為產生磁通量，

其中，所述標尺具有第一多個導體和第二多個導體，第一多個導體用于第一軌道、在測量方向上排列、被配置為與由第一收發器線圈產生的磁通量電磁耦合、并且產生在所述測量方向上以預定空間周期波動的磁通量，第二多個導體用于第二軌道、在所述測量方向上排列，被配置為與由第二收發器線圈產生的磁通量電磁耦合、并且產生在所述測量方向上以預定空間周期波動的磁通量，

其中，所述檢測頭具有第一接收器線圈和第二接收器線圈，所述第一接收器線圈被配置為與由第一多個導體產生的磁通量電磁耦合并且檢測所述磁通量的相位，所述第二接收器線圈被配置為與由第二多個導體產生的磁通量電磁耦合并且檢測所述磁通量的相位，

其中，所述第一軌道的所述第一收發器線圈、所述第一多個導體和所述第一接收器線圈在垂直于檢測頭和標尺之間的面對方向和所述測量方向的方向上的寬度中的至少一個，與第二收發器線圈、第二多個導體和第二接收器線圈在垂直于所述面對方向和所述測量方向的所述方向上的對應寬度不同。

2.根據權利要求1所述的電磁感應型編碼器，還包括檢測器，所述檢測器被配置為：利用從所述第一軌道的所述第一接收器線圈獲得的信號強度和從所述第二軌道的所述第二接收器線圈獲得的信號強度之間的比較結果，檢測在所述面對方向上的所述檢測頭和所述標尺之間的位置波動、和在垂直于所述面對方向和所述測量方向的方向上的所述檢測頭和所述標尺之間的位置波動中的至少一個。

3.根據權利要求2所述的電磁感應型編碼器，其中，所述檢測器利用與從所述第一軌道的所述第一接收器獲得的所述信號強度和從所述第二軌道的所述第二接收器線圈獲得的所述信號強度之間的比較結果對應的相關性系數，檢測所述檢測頭和所述標尺之間的間隙。

4.根據權利要求2或3所述的電磁感應型編碼器，還包括被配置為報告檢測器的結果的報警設備。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的電磁感應型編碼器，

其中，所述第一軌道的所述第一多個導體的寬度在垂直于所述面對方向和所述測量方向的所述方向上小于所述第一收發器線圈的寬度，

其中，所述第二軌道的所述第二多個導體的寬度在垂直于所述面對方向和所述測量方向的所述方向上小于所述第二收發器線圈的寬度。