[發(fā)明專利]電磁感應型編碼器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010521840.8
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN112082580A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發(fā)明（設計）人: 森洋篤;林賢一;小林直樹
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01D5/245
• 分類號: G01D5/245
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邸萬奎

一種電磁感應型編碼器，其中，第一軌道的第一收發(fā)器線圈、第一多個導體和第一接收器線圈在垂直于檢測頭和標尺之間的面對方向和測量方向的方向上的寬度中的至少一個與第二收發(fā)器線圈、第二多個導體和第二接收器線圈在垂直于面對方向和測量方向的方向上的對應寬度不同。

技術領域

本文描述的實施例的特定方面涉及電磁感應型編碼器。

背景技術

已知用于檢測檢測頭和標尺之間的相對位移量的電磁感應型編碼器(例如，參見日本專利申請公開第2001-255106號和日本專利申請公開第2016-206086號)。

發(fā)明內容

在電磁感應型編碼器中，檢測頭相對于標尺相對移動。檢測頭和標尺通過小間隙相互面對。然而，當檢測頭和標尺之間的位置關系波動時，檢測頭可能在滑動期間碰到標尺。因此，請求檢測位置關系并且報告檢測到的位置關系。然而，從成本或空間的角度來看，難以添加用于檢測的新傳感器或者添加用于檢測的新圖案。

在本發(fā)明的一方面中，目的是提供一種能夠以簡單的結構檢測檢測頭和標尺之間的位置波動的電磁感應型編碼器。

根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種電磁感應型編碼器，其包括：檢測頭；和標尺，面對檢測頭并且被配置為在測量方向上相對于檢測頭相對移動，其中，檢測頭具有第一收發(fā)器線圈和第二收發(fā)器線圈，第一收發(fā)器線圈用于第一軌道并且被配置為產生磁通量，第二收發(fā)器線圈用于第二軌道并且被配置為產生磁通量，其中，標尺具有第一多個導體和第二多個導體，第一多個導體用于第一軌道、在測量方向上排列(array)、被配置為與由第一收發(fā)器線圈產生的磁通量電磁耦合、并且產生在測量方向上以預定空間周期波動的磁通量，第二多個導體用于第二軌道、在測量方向上排列、被配置為與由第二收發(fā)器線圈產生的磁通量電磁耦合、并且產生在測量方向上以預定空間周期波動的磁通量，其中，檢測頭具有第一接收器線圈和第二接收器線圈，第一接收器線圈被配置為與由第一多個導體產生的磁通量電磁耦合并且檢測磁通量的相位，第二接收器線圈被配置為與由第二多個導體產生的磁通量電磁耦合并且檢測磁通量的相位，其中，第一軌道的第一收發(fā)器線圈、第一多個導體和第一接收器線圈在垂直于檢測頭和標尺之間的面對方向和測量方向的方向上的寬度中的至少一個，與第二收發(fā)器線圈、第二多個導體和第二接收器線圈在垂直于面對方向和測量方向的方向上的對應寬度不同。

附圖說明

圖1A示出了檢測頭；

圖1B示出了標尺；

圖2示出了檢測頭和標尺之間的間隙波動與檢測信號強度之間的相關性；

圖3A示出了在檢測頭和標尺之間的位置關系中接收器線圈的中心與連接線圈的中心重合的情況；

圖3B示出了接收器線圈從圖3A的位置關系沿Y軸方向偏移的情況；

圖3C示出了連接線圈在Y軸方向上的寬度被擴大的情況；

圖4A示出了接收器線圈在Y軸方向上的位置波動和信號強度之間的關系；

圖4B示出了在圖3C的情況下，接收器線圈在Y軸方向上的位置波動和信號強度之間的關系；

圖5A示出了電磁感應型編碼器的結構；

圖5B示出了接收器線圈的結構；

圖6示出了相對于軌道Tr1的間隙波動的信號強度和相對于軌道Tr2的間隙波動的信號強度之間的比率；

圖7示出了在Y軸方向上位移時軌道Tr1的信號強度的波動和軌道Tr2的信號強度的波動之間的比率；

圖8示出了在Y軸方向上位移期間軌道Tr1的信號強度和軌道Tr2的信號強度之間的比率的波動與軌道Tr1的信號強度波動率的倒數(shù)之間的關系；

圖9示出了根據(jù)間隙波動的信號強度的降低；