[發(fā)明專利]一種水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)及低壓擴散爐

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010521139.6
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN111621847A
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發(fā)明（設計）人: 田杰成;徐有根
• 申請（專利權）人: 湖南艾科威智能裝備有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B31/06;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 長沙心智力知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 43233
• 代理人: 謝如意

1.一種水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)，其特征在于，包括：

座板，垂直放置；

承載立板，平行于所述座板放置，所述承載立板的一端開設有橫置的腰型孔；

驅(qū)動裝置，豎直設置于所述座板和承載立板之間，且連接所述座板；

傳動機構，包括絲杠和連接塊，所述絲杠連接所述驅(qū)動裝置的輸出軸，所述連接塊與所述絲杠套接；

凸輪隨動器，連接所述連接塊，且所述凸輪隨動器的側部設置有一凸臺，所述凸臺與所述腰型孔適配；

交叉滾子軸承，其內(nèi)圈與所述底板固定，其外圈嵌入所述承載立板相對設置有所述腰型孔的另一端；

夾持裝置，包括夾持固定板、第一夾持機構和第二夾持機構，所述夾持固定板連接所述承載立板背離所述座板的一側，所述第一夾持機構和所述第二夾持機構設置于所述夾持固定板的底側，所述第一夾持機構和所述第二夾持機構用于分別夾持擴散爐的槳。

2.如權利要求1所述的水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)，其特征在于，所述驅(qū)動裝置為伺服電機，所述伺服電機的輸出軸垂直于水平面。

3.如權利要求2所述的水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)，其特征在于，還包括自動控制裝置，所述自動控制裝置包括智能控制器和應變采集裝置，所述應變采集裝置設置于所述夾持裝置上且與所述第一夾持機構的上表面相接，所述智能控制器與所述應變采集裝置電連接。

4.如權利要求3所述的水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)，其特征在于，所述智能控制器為PLC控制器。

5.如權利要求3所述的水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)，其特征在于，所述應變采集裝置為電阻應變片。

6.如權利要求1-5任一項所述的水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)，其特征在于，所述凸輪隨動器的中心設置有供所述絲杠穿過的通孔，所述凸臺為圓柱體結構、且所述凸臺的軸線與所述通孔的軸線垂直。

7.如權利要求1-5任一項所述的水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)，其特征在于，還包括蝸輪蝸桿減速器，所述驅(qū)動裝置通過所述蝸輪蝸桿減速器連接所述傳動機構。

8.一種低壓擴散爐，其特征在于，所述低壓擴散爐包括石英舟、槳和水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)，所述槳與所述水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)連接，其中，所述水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)是如權利要求1至7任一項所述的水平可調(diào)節(jié)推舟系統(tǒng)。