[發明專利]一種水平可調節推舟系統及低壓擴散爐

在審

• 申請號: 202010521139.6
• 申請日: 2020-06-10
• 公開（公告）號: CN111621847A
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發明（設計）人: 田杰成;徐有根
• 申請（專利權）人: 湖南艾科威智能裝備有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B31/06;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 長沙心智力知識產權代理事務所(普通合伙) 43233
• 代理人: 謝如意

本發明公開一種水平可調節推舟系統及應用該系統的低壓擴散爐，該系統包括座板、承載立板、驅動裝置、傳動機構、凸輪隨動器、交叉滾子軸承和夾持裝置；其中，承載立板的一端開設有橫置的腰型孔，傳動機構包括絲杠和連接塊，絲杠連接驅動裝置的輸出軸，連接塊與絲杠套接，凸輪隨動器的側部設置有一凸臺，凸臺與腰型孔適配，交叉滾子軸承的內圈與底板固定、外圈嵌入承載立板，夾持裝置包括夾持固定板、第一夾持機構和第二夾持機構。本發明提供的推舟系統可調節槳的角度，使槳在石英管內取、放載滿石英舟過程中，槳前后兩端同時與石英舟底部接觸、均勻受力，減小槳與石英管及石英舟刮擦的風險，結構簡單、運行可靠，有利于降低生產維護成本。

技術領域

本發明涉及半導體加工設備技術領域，具體地，涉及一種水平可調節推舟系統及低壓擴散爐。

背景技術

隨著晶體硅太陽能電池尺寸更大、厚度更薄和方塊電阻值要求越來越高，傳統閉管擴散爐粗劣的工藝水平已經不能滿足要求，而低壓擴散技術優勢非常明顯。低壓工藝中(工藝壓力的范圍是50mbar-200mbar)的低雜質源飽和蒸汽壓提高了雜質的分子自由程，穩定的真空氣流大幅提升了方塊電阻的阻值和均勻性，并增倍提升了產量，是高品質擴散的首選與環境友好型的生產方式。與傳統閉管擴散爐相比，低壓擴散爐在方塊電阻均勻性和功耗上優勢明顯。

目前，隨著太陽能光伏及半導體工藝設備的快速發展，市場上對大產能、可靠性、維護成本、調試方便等要求也越來越高。傳統的水平推舟系統水平調節麻煩、需要人工調節微調螺釘使其水平、工作量大、維護與調試麻煩，長期動作螺釘易松動，且槳在石英管內進出取放載滿硅片的石英舟時，由于槳前端變相量較大，易與石英管或石英舟刮擦，造成斷槳、甚至砸壞石英舟的事故發生，給生產企業大大增加了運營成本。

發明內容

本發明的主要目的是提供一種水平可調節推舟系統以及應用該系統的低壓擴散爐，旨在解決上述技術問題。

為實現上述目的，本發明提出的水平可調節推舟系統，包括：

座板，垂直放置；

承載立板，平行于所述座板放置，所述承載立板的一端開設有橫置的腰型孔；

驅動裝置，豎直設置于所述座板和承載立板之間，且連接所述座板；

傳動機構，包括絲杠和連接塊，所述絲杠連接所述驅動裝置的輸出軸，所述連接塊與所述絲杠套接；

凸輪隨動器，連接所述連接塊，且所述凸輪隨動器的側部設置有一凸臺，所述凸臺與所述腰型孔適配；

交叉滾子軸承，其內圈與所述底板固定，其外圈嵌入所述承載立板相對設置有所述腰型孔的另一端；

夾持裝置，包括夾持固定板、第一夾持機構和第二夾持機構，所述夾持固定板連接所述承載立板背離所述座板的一側，所述第一夾持機構和所述第二夾持機構設置于所述夾持固定板的底側，所述第一夾持機構和所述第二夾持機構用于分別夾持擴散爐的槳。

優選地，所述驅動裝置為伺服電機，所述伺服電機的輸出軸垂直于水平面。

優選地，還包括自動控制裝置，所述自動控制裝置包括智能控制器和應變采集裝置，所述應變采集裝置設置于所述夾持裝置上且與所述第一夾持機構的上表面相接，所述智能控制器與所述應變采集裝置電連接。

優選地，所述智能控制器為PLC控制器。

優選地，所述應變采集裝置為電阻應變片。

優選地，所述凸輪隨動器的中心設置有供所述絲杠穿過的通孔，所述凸臺為圓柱體結構、且所述凸臺的軸線與所述通孔的軸線垂直。

優選地，還包括蝸輪蝸桿減速器，所述驅動裝置通過所述蝸輪蝸桿減速器連接所述傳動機構。