[發(fā)明專利]砂漿供應(yīng)方法、砂漿供應(yīng)設(shè)備及晶棒切割系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010519065.2
• 申請日: 2020-06-09
• 公開（公告）號: CN111805775B
• 公開（公告）日: 2022-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳建銘;盧健平
• 申請（專利權(quán)）人: 徐州鑫晶半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 歐陽高鳳

1.一種晶棒切割系統(tǒng)的砂漿供應(yīng)方法，其特征在于，所述晶棒切割系統(tǒng)包括晶棒切割設(shè)備和砂漿供應(yīng)設(shè)備，所述砂漿供應(yīng)設(shè)備包括第一混合裝置、第二混合裝置和成品砂漿混合供應(yīng)裝置，所述成品砂漿混合供應(yīng)裝置用于向所述晶棒切割設(shè)備供應(yīng)成品砂漿，所述砂漿供應(yīng)方法包括：

控制所述第一混合裝置向所述成品砂漿混合供應(yīng)裝置供應(yīng)第一體積的全新砂漿，且控制所述第二混合裝置向所述成品砂漿混合供應(yīng)裝置供應(yīng)第二體積的回收混合砂漿，所述第一體積和所述第二體積的比為設(shè)定比例，根據(jù)晶棒的長度實時調(diào)整所述設(shè)定比例或者根據(jù)所述晶棒的切割面積實時調(diào)整所述設(shè)定比例；

其中，所述砂漿供應(yīng)設(shè)備包括：

廢砂漿回收處理裝置，所述廢砂漿回收處理裝置用于回收廢砂漿且從所述廢砂漿內(nèi)分離出有效磨料和舊切削潤滑液；

新磨料供應(yīng)裝置，所述新磨料供應(yīng)裝置用于供應(yīng)新磨料；

新切削潤滑液供應(yīng)裝置，所述新切削潤滑液供應(yīng)裝置用于供應(yīng)新切削潤滑液；

第一混合裝置，所述新磨料供應(yīng)裝置可向所述第一混合裝置供應(yīng)所述新磨料，所述新切削潤滑液供應(yīng)裝置可向所述第一混合裝置供應(yīng)所述新切削潤滑液，所述新磨料和所述新切削潤滑液在所述第一混合裝置內(nèi)混合形成全新砂漿；

第二混合裝置，所述廢砂漿回收處理裝置可向所述第二混合裝置供應(yīng)所述有效磨料和所述舊切削潤滑液，所述新磨料供應(yīng)裝置可向所述第二混合裝置供應(yīng)所述新磨料，所述新切削潤滑液供應(yīng)裝置可向所述第二混合裝置供應(yīng)所述新切削潤滑液，所述有效磨料、所述舊切削潤滑液、所述新磨料和所述新切削潤滑液在所述第二混合裝置內(nèi)混合形成回收混合砂漿；

成品砂漿混合供應(yīng)裝置，所述第一混合裝置和所述第二混合裝置按照所述設(shè)定比例向所述成品砂漿混合供應(yīng)裝置分別供應(yīng)所述全新砂漿和所述回收混合砂漿，所述成品砂漿混合供應(yīng)裝置用于向所述晶棒切割設(shè)備供應(yīng)成品砂漿，所述設(shè)定比例依切割效能需求設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒切割系統(tǒng)的砂漿供應(yīng)方法，其特征在于，所述設(shè)定比例的值與所述晶棒的長度呈正相關(guān)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒切割系統(tǒng)的砂漿供應(yīng)方法，其特征在于，所述設(shè)定比例的值與所述晶棒的切割面積呈正相關(guān)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶棒切割系統(tǒng)的砂漿供應(yīng)方法，其特征在于，所述第一體積V₁滿足：V₁＝A/D*V_S，所述第二體積V₂滿足：V₂＝V_S-V₁，所述A＝((D/2)^2-(D/2-X)^2)^0.5*2，其中所述D為所述晶棒的直徑，所述X為切割位置，所述V_S為所述X位于晶棒的最大切割面積位置時設(shè)定的砂漿流量。

5.一種用于晶棒切割的砂漿供應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述砂漿供應(yīng)設(shè)備利用根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的砂漿供應(yīng)方法向晶棒切割設(shè)備供應(yīng)砂漿。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于晶棒切割的砂漿供應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述廢砂漿回收處理裝置包括：

廢砂漿回收裝置，所述廢砂漿回收裝置回收所述晶棒切割設(shè)備使用后的廢砂漿；

廢砂漿處理裝置，所述廢砂漿處理裝置包括第一離心機和第二離心機，所述第一離心機從所述廢砂漿內(nèi)分離出所述有效磨料，所述第二離心機從所述廢砂漿內(nèi)分離出所述舊切削潤滑液，所述第一離心機包括第一進口、第一出口和第二出口，所述第二離心機包括第二進口、第三出口和第四出口，所述第一進口與所述廢砂漿回收裝置相連，所述有效磨料從所述第一出口分離出，所述第一出口與所述第二混合裝置相連，所述第一離心機分離出所述有效磨料后其余廢棄砂漿從所述第二出口分離出，所述第二出口與所述第二進口相連，所述舊切削潤滑液從所述第三出口分離出，所述第三出口與所述第二混合裝置相連，所述第二離心機分離出所述舊切削潤滑液后其余廢棄砂漿從所述第四出口排出。

7.一種晶棒切割系統(tǒng)，其特征在于，包括：

晶棒切割設(shè)備，所述晶棒切割設(shè)備用于切割晶棒；

砂漿供應(yīng)設(shè)備，所述砂漿供應(yīng)設(shè)備用于向所述晶棒切割設(shè)備供應(yīng)砂漿，所述砂漿供應(yīng)設(shè)備為根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的用于晶棒切割的砂漿供應(yīng)設(shè)備。