[發(fā)明專利]一種清理塑封模具中模盒型腔內(nèi)殘留物的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010514024.4 | 申請日： | 2020-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN111660472B | 公開（公告）日： | 2022-08-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李彥文;雷錦浩 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安微電子技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | B29C33/72 | 分類號： | B29C33/72;H01L21/56 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人： | 姚詠華 |
| 地址： | 710065 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 清理 塑封 模具 中模盒型腔內(nèi) 殘留物 方法 | ||
1.一種清理塑封模具中模盒型腔內(nèi)殘留物的方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟1，先將塑封模具中的模盒放置在維修車上，之后通過維修車將塑封模具中的模盒移至通風(fēng)位置自然降溫，使模盒的溫度至120~130℃；
步驟2，用乙二醇乙醚浸泡降溫后的模盒型腔18~20s，乙二醇乙醚沒過塑封模具中的模盒型腔，在模盒型腔內(nèi)留存有乙二醇乙醚時(shí)，用銅刷搓刷模盒型腔內(nèi)的殘留物；
步驟3，將模盒型腔內(nèi)的乙二醇乙醚與搓刷后的殘留物清理干凈，完成對塑封模具中模盒型腔內(nèi)殘留物的清理。
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說明：
1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書；
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