[發明專利]一種貼片貼板裝置及貼片方法在審
| 申請號: | 202010513031.2 | 申請日: | 2020-06-08 |
| 公開(公告)號: | CN111785660A | 公開(公告)日: | 2020-10-16 |
| 發明(設計)人: | 常嘉偉;王霞;王志偉 | 申請(專利權)人: | 江蘇富瀾克信息技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/48 |
| 代理公司: | 鹽城平易安通知識產權代理事務所(普通合伙) 32448 | 代理人: | 陳彩芳 |
| 地址: | 224000 江蘇省鹽城市鹽都區*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 貼板 裝置 方法 | ||
1.一種貼片貼板裝置,其特征在于:包括第一支撐板(1),所述第一支撐板(1)的底部固定連接有若干第一支撐柱(2),所述第一支撐柱(2)的底部固定連接有第二支撐板(3),所述第一支撐板(1)的上方設有載物板(4),所述載物板(4)的頂部設有矩形限位環(5),所述矩形限位環(5)的兩側對稱設有側板(6),所述側板(6)的底部與第一支撐板(1)的頂部固定連接,所述側板(6)靠近矩形限位環(5)的一側開設有滑槽(7),所述滑槽(7)內設有滑塊(8),所述滑塊(8)的一側設有第一轉軸(9),所述第一轉軸(9)的一端與滑塊(8)通過第一軸承(11)連接,所述第一轉軸(9)的另一端固定連接有連接板(10),所述連接板(10)與矩形限位環(5)通過兩個連接柱(12)連接,所述矩形限位環(5)內設有若干固定塊(28),所述固定塊(28)與矩形限位環(5)通過調節組件連接,所述載物板(4)的頂部開設有若干基板槽(13),所述載物板(4)的頂部固定連接有若干限位塊(15),所述矩形限位環(5)的頂部和底部均開設有若干卡槽(14),且所述卡槽(14)與限位塊(15)相配合,所述載物板(4)的頂部開設有若干通孔(16),所述通孔(16)內設有推桿(17),所述推桿(17)的底部與第一支撐板(1)的頂部固定連接,所述第一支撐板(1)與載物板(4)通過若干彈簧(18)連接,所述第一支撐板(1)和載物板(4)通過控制組件連接。
2.根據權利要求1所述的一種貼片貼板裝置,其特征在于:所述控制組件包括設置于第一支撐板(1)和載物板(4)之間的第二轉軸(19),所述第二轉軸(19)的頂端與載物板(4)通過第二軸承(20)連接,所述第二轉軸(19)的底端貫穿第一支撐板(1),所述第一支撐板(1)的底部固定連接有螺紋套(21),所述螺紋套(21)內設有第一絲桿(22),所述第一絲桿(22)的頂部與第二轉軸(19)的底部固定連接,所述第一絲桿(22)的底部固定連接有位于螺紋套(21)底部的第一轉盤(23),所述載物板(4)的底部固定連接有若干限位柱(25),所述限位柱(25)貫穿第一支撐板(1)。
3.根據權利要求2所述的一種貼片貼板裝置,其特征在于:所述第一轉盤(23)的一側固定連接有第一手柄(24)。
4.根據權利要求1所述的一種貼片貼板裝置,其特征在于:所述調節組件包括設置于固定塊(28)一側的第二絲桿(27),所述矩形限位環(5)上開設有若干螺紋孔(26),所述第二絲桿(27)貫穿螺紋孔(26),所述第二絲桿(27)的一端與位于矩形限位環(5)外部的第二轉盤(29)固定連接。
5.根據權利要求4所述的一種貼片貼板裝置,其特征在于:所述第二轉盤(29)遠離矩形限位環(5)的一側設有第二手柄(30),所述固定塊(28)設置的數目為四個。
6.根據權利要求1所述的一種貼片貼板裝置,其特征在于:所述滑槽(7)和滑塊(8)的橫截面為T形結構。
7.根據權利要求1所述的一種貼片貼板裝置,其特征在于:所述基板槽(13)的底部內壁固定連接有第二支撐柱(31)。
8.根據權利要求1所述的一種貼片貼板裝置,其特征在于:所述第二支撐板(3)的頂部開設有若干沉孔。
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





