[發(fā)明專利]液滴產(chǎn)生器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010504014.2
• 申請(qǐng)日: 2020-06-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112295761A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蕭任宏;鄭博中;陳立銳;簡(jiǎn)上杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): B05B1/24
• 分類號(hào): B05B1/24;G03F7/20
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243
• 代理人: 顧伯興

本公開(kāi)提供一種液滴產(chǎn)生器，包含操控系統(tǒng)、儲(chǔ)槽、噴嘴、第一加熱器、第二加熱器以及第三加熱器。操控系統(tǒng)用于控制液滴產(chǎn)生器的液滴釋放的位置。儲(chǔ)槽固持在操控系統(tǒng)上以用于存儲(chǔ)錫。噴嘴與儲(chǔ)槽連接以用于產(chǎn)生錫液滴，其中噴嘴包括依次連接的至少第一區(qū)、第二區(qū)以及第三區(qū)。第一加熱器包圍第一區(qū)中的噴嘴的周邊表面。第二加熱器包圍第二區(qū)中的噴嘴的周邊表面。第三加熱器包圍第三區(qū)中的噴嘴的周邊表面，其中第一加熱器、第二加熱器以及第三加熱器的加熱是單獨(dú)地進(jìn)行控制。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開(kāi)實(shí)施例是有關(guān)于一種液滴產(chǎn)生器，以及包括有所述液滴產(chǎn)生器的 極紫外光刻器件。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)由于各種電子組件(即，晶體管、二極管、電阻器、電 容器等)的集成密度的持續(xù)改進(jìn)而經(jīng)歷快速發(fā)展。在很大程度上，集成密度 的這種改進(jìn)來(lái)自最小特征大小的重復(fù)減小，這允許更多較小組件集成到給定 區(qū)域中。器件大小的減小已經(jīng)符合例如光刻的半導(dǎo)體制造技術(shù)的進(jìn)展。

發(fā)明內(nèi)容

本揭露實(shí)施例提供一種液滴產(chǎn)生器，包含操控系統(tǒng)、儲(chǔ)槽、噴嘴、第 一加熱器、第二加熱器以及第三加熱器。操控系統(tǒng)用于控制液滴產(chǎn)生器的 液滴釋放的位置。儲(chǔ)槽固持在操控系統(tǒng)上以用于存儲(chǔ)錫。噴嘴與儲(chǔ)槽連接 以用于產(chǎn)生錫液滴，其中噴嘴包括依次連接的至少第一區(qū)、第二區(qū)以及第 三區(qū)。第一加熱器包圍第一區(qū)中的噴嘴的周邊表面。第二加熱器包圍第二 區(qū)中的噴嘴的周邊表面。第三加熱器包圍第三區(qū)中的噴嘴的周邊表面，其 中第一加熱器、第二加熱器以及第三加熱器的加熱是單獨(dú)地進(jìn)行控制。

附圖說(shuō)明

結(jié)合附圖閱讀以下具體實(shí)施方式會(huì)最好地理解本公開(kāi)的各方面。應(yīng)注意， 根據(jù)業(yè)界中的標(biāo)準(zhǔn)慣例，各個(gè)特征未按比例繪制。實(shí)際上，為了論述清楚起 見(jiàn)，可任意增大或減小各種特征的尺寸。

圖1示出根據(jù)本公開(kāi)的一些示例性實(shí)施例的極紫外(extreme ultraviolet； EUV)光刻器件。

圖2是根據(jù)本公開(kāi)的一些示例性實(shí)施例的使用EUV光刻器件的方法的流 程圖。

圖3示出根據(jù)本公開(kāi)的一些示例性實(shí)施例的液滴產(chǎn)生器的示意圖。

圖4示出根據(jù)本公開(kāi)的一些示例性實(shí)施例的噴嘴的示意圖。

圖5示出根據(jù)本公開(kāi)的一些其它示例性實(shí)施例的噴嘴的示意圖。

圖6示出根據(jù)本公開(kāi)的一些其它示例性實(shí)施例的噴嘴的示意圖。

圖7A到圖7D是根據(jù)本公開(kāi)的一些示例性實(shí)施例的使用液滴產(chǎn)生器產(chǎn)生 一系列液滴的方法中的噴嘴的各個(gè)階段的示意圖。

圖8是根據(jù)本公開(kāi)的一些示例性實(shí)施例的使用液滴產(chǎn)生器產(chǎn)生一系列液 滴的方法的流程圖。

圖9是根據(jù)本公開(kāi)的一些示例性實(shí)施例的使用液滴產(chǎn)生器產(chǎn)生一系列液 滴的方法的一個(gè)階段中的噴嘴和捕集槽的示意性視圖。

圖10A和圖10B是根據(jù)本公開(kāi)的一些比較實(shí)施例的使用液滴產(chǎn)生器產(chǎn)生 一系列液滴的方法的各個(gè)階段中的噴嘴和捕集槽的示意圖。

附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明

20：激光產(chǎn)生器；

21：輸出窗口；

22：收集器；

23：氣體供應(yīng)器；

24：液滴產(chǎn)生器；

24A：操控系統(tǒng)；

24B：儲(chǔ)槽；

24C：噴嘴；

24D：氣體供應(yīng)單元；

25：目標(biāo)材料；

26：捕集槽；