[發明專利]液滴產生器在審
| 申請號： | 202010504014.2 | 申請日： | 2020-06-05 |
| 公開（公告）號： | CN112295761A | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發明（設計）人： | 蕭任宏;鄭博中;陳立銳;簡上杰 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | B05B1/24 | 分類號： | B05B1/24;G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京正聯知識產權代理有限公司 32243 | 代理人： | 顧伯興 |
| 地址： | 中國臺灣新竹科*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 產生器 | ||
【權利要求書】：
1.一種液滴產生器，包括：
操控系統，用于控制所述液滴產生器的液滴所釋放的位置；
儲槽，固持在所述操控系統上以用于存儲錫；
噴嘴，與所述儲槽連接以用于產生錫液滴，其中所述噴嘴至少包括依次連接的第一區、第二區以及第三區；
第一加熱器，包圍所述第一區中的所述噴嘴的周邊表面；
第二加熱器，包圍所述第二區中的所述噴嘴的周邊表面；以及
第三加熱器，包圍所述第三區中的所述噴嘴的周邊表面，其中所述第一加熱器、所述第二加熱器以及所述第三加熱器的加熱是單獨地進行控制。
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