[發明專利]一種氣相沉積爐用硅棒柔性夾持機構在審
| 申請號： | 202010503887.1 | 申請日： | 2020-06-05 |
| 公開（公告）號： | CN111676515A | 公開（公告）日： | 2020-09-18 |
| 發明（設計）人： | 鄧文漢 | 申請（專利權）人： | 鄧文漢 |
| 主分類號： | C30B28/14 | 分類號： | C30B28/14;C30B29/06;C01B33/035 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 330000 江西省*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 沉積 爐用硅棒 柔性 夾持 機構 | ||
【權利要求書】：
1.一種氣相沉積爐用硅棒柔性夾持機構，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的頂部固定安裝有負壓產生箱(2)，所述負壓產生箱(2)的頂部固定安裝有活塞筒(3)，所述負壓產生箱(2)的頂部開設有負壓槽(4)，所述負壓產生箱(2)的內部開設有負壓腔(15)，所述活塞筒(3)通過負壓槽(4)與負壓腔(15)內部連通，所述底座(1)內部流動有冷卻液體，所述活塞筒(3)內部滑動連接有活塞塊(5)，所述活塞塊(5)的頂部延伸至活塞筒(3)的上方并固定連接有夾套(6)，所述夾套(6)內部夾持固定有硅芯(7)，所述底座(1)的底部固定安裝有分流板(10)，所述分流板(10)的底部固定安裝有進料箱(8)，所述進料箱(8)的底部固定安裝有進料口(13)。
2.根據權利要求1所述的一種氣相沉積爐用硅棒柔性夾持機構，其特征在于：所述進料箱(8)的頂部開設有連通口(9)，所述連通口(9)與分流板(10)上開設的分流孔相對應，所述分流板(10)的頂部固定安裝有流量閥(11)，所述流量閥(11)的進口與分流孔相配合，所述流量閥(11)頂部的出口固定安裝有進料管(12)，所述進料管(12)的頂部穿過底座(1)并延伸至底座(1)的上方，所述活塞筒(3)內腔的底部固定安裝有壓力傳感器(14)，所述負壓腔(15)的數量為六個，六個所述負壓腔(15)為等角度的扇形排列。
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