[發(fā)明專(zhuān)利]一種氣相沉積爐用硅棒柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010503887.1
• 申請(qǐng)日: 2020-06-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111676515A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧文漢
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 鄧文漢
• 主分類(lèi)號(hào): C30B28/14
• 分類(lèi)號(hào): C30B28/14;C30B29/06;C01B33/035
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)用設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種氣相沉積爐用硅棒柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，包括底座，所述底座的頂部固定安裝有負(fù)壓產(chǎn)生箱，所述負(fù)壓產(chǎn)生箱的頂部固定安裝有活塞筒，所述負(fù)壓產(chǎn)生箱的頂部開(kāi)設(shè)有負(fù)壓槽，所述負(fù)壓產(chǎn)生箱的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有負(fù)壓腔，所述活塞筒通過(guò)負(fù)壓槽與負(fù)壓腔內(nèi)部連通，所述底座內(nèi)部流動(dòng)有冷卻液體，所述活塞筒內(nèi)部滑動(dòng)連接有活塞塊，本發(fā)明通過(guò)設(shè)置有活塞筒、活塞塊以及負(fù)壓產(chǎn)生箱，使得硅芯在受到沉積爐內(nèi)氣流影響傾倒時(shí)，使得硅芯與夾套向一側(cè)傾斜，從而防止硅芯與夾套因固定連接產(chǎn)生較大的剪切力，使得硅芯與夾持機(jī)構(gòu)接觸位置不會(huì)受到剪切力的影響，從而不會(huì)出現(xiàn)折斷倒棒現(xiàn)象發(fā)生而意外停爐。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)用設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種氣相沉積爐用硅棒柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

目前國(guó)際上多晶硅生產(chǎn)工藝主要有改良西門(mén)子法和硅烷法，西門(mén)子法通過(guò)氣相沉積法生產(chǎn)棒狀多晶硅。該工藝將工業(yè)硅合成SiHCb，通過(guò)提純SiHCl3去除雜質(zhì)元素，再讓SiHCl3在H2氣氛下于還原爐中沉積得到高純多晶硅，多晶硅還原爐排出的尾氣H2，SiHCl3，SH2Cl，SiCl4和HCl經(jīng)過(guò)分離后可再循環(huán)利用。在多晶硅生長(zhǎng)過(guò)程中，需要將硅芯很好地固定，防止硅芯出現(xiàn)位移，以確保多晶硅生長(zhǎng)過(guò)程順利完成。

現(xiàn)有技術(shù)一般采用石棉夾套對(duì)硅芯進(jìn)行固定，以確保多晶硅生長(zhǎng)過(guò)程順利完成。

硅芯夾持機(jī)構(gòu)對(duì)整個(gè)多晶硅還原生產(chǎn)運(yùn)行的影響非常大，在多晶硅還原生產(chǎn)過(guò)程中，隨著反應(yīng)生成的多晶硅在硅芯表面的生長(zhǎng)，多晶硅棒的重量逐漸增加，在還原爐內(nèi)氣體流場(chǎng)和多晶硅棒自重的共同作用下，極易出現(xiàn)硅芯受力不均勻，使得硅芯與夾持機(jī)構(gòu)接觸位置受到剪切力的影響，出現(xiàn)折斷倒棒現(xiàn)象發(fā)生而意外停爐，在很大程度上影響了還原反應(yīng)的產(chǎn)量、產(chǎn)品質(zhì)量等。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有氣相沉積爐用硅棒夾持機(jī)構(gòu)在使用過(guò)程中存在的不足，本發(fā)明提供了一種氣相沉積爐用硅棒柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，具備使得硅芯與夾持機(jī)構(gòu)接觸位置不會(huì)受到剪切力的影響產(chǎn)生斷裂的優(yōu)點(diǎn)，解決了上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種氣相沉積爐用硅棒柔性?shī)A持機(jī)構(gòu)，包括底座，所述底座的頂部固定安裝有負(fù)壓產(chǎn)生箱，所述負(fù)壓產(chǎn)生箱的頂部固定安裝有活塞筒，所述負(fù)壓產(chǎn)生箱的頂部開(kāi)設(shè)有負(fù)壓槽，所述負(fù)壓產(chǎn)生箱的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有負(fù)壓腔，所述活塞筒通過(guò)負(fù)壓槽與負(fù)壓腔內(nèi)部連通，所述底座內(nèi)部流動(dòng)有冷卻液體，所述活塞筒內(nèi)部滑動(dòng)連接有活塞塊，所述活塞塊的頂部延伸至活塞筒的上方并固定連接有夾套，所述夾套內(nèi)部夾持固定有硅芯，所述底座的底部固定安裝有分流板，所述分流板的底部固定安裝有進(jìn)料箱，所述進(jìn)料箱的底部固定安裝有進(jìn)料口。

優(yōu)選的，所述進(jìn)料箱的頂部開(kāi)設(shè)有連通口，所述連通口與分流板上開(kāi)設(shè)的分流孔相對(duì)應(yīng)，所述分流板的頂部固定安裝有流量閥，所述流量閥的進(jìn)口與分流孔相配合，所述流量閥頂部的出口固定安裝有進(jìn)料管，所述進(jìn)料管的頂部穿過(guò)底座并延伸至底座的上方，所述活塞筒內(nèi)腔的底部固定安裝有壓力傳感器，所述負(fù)壓腔的數(shù)量為六個(gè)，六個(gè)所述負(fù)壓腔為等角度的扇形排列。

本發(fā)明具備以下有益效果：

1、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置有活塞筒、活塞塊以及負(fù)壓產(chǎn)生箱，使得硅芯在受到沉積爐內(nèi)氣流影響傾倒時(shí)，使得硅芯與夾套向一側(cè)傾斜，從而防止硅芯與夾套因固定連接產(chǎn)生較大的剪切力，使得硅芯與夾持機(jī)構(gòu)接觸位置不會(huì)受到剪切力的影響，從而不會(huì)出現(xiàn)折斷倒棒現(xiàn)象發(fā)生而意外停爐。

2、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置有負(fù)壓槽，使得活塞筒與負(fù)壓產(chǎn)生箱連通，使得負(fù)壓腔內(nèi)部氣體通過(guò)負(fù)壓槽輸入活塞筒內(nèi)部，此時(shí)活塞筒內(nèi)部的溫度小于活塞筒外部的溫度，使得活塞筒內(nèi)部的壓強(qiáng)小于活塞筒外部的壓強(qiáng)，使得活塞筒內(nèi)部產(chǎn)生負(fù)壓，同時(shí)冷卻水的作用是為設(shè)備對(duì)底座進(jìn)行冷卻，利用冷卻水使得活塞筒內(nèi)部利用溫差負(fù)壓對(duì)于硅芯與夾套進(jìn)行柔性支撐，從而不需要增加外部設(shè)備，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于硅芯與夾套進(jìn)行柔性支撐的功能。