[發(fā)明專利]一種鋁靶材組件及降低鋁靶材組件中背板變形的焊接方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010501365.8 | 申請日： | 2020-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN111644738A | 公開（公告）日： | 2020-09-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;趙梓聿 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K20/02 | 分類號： | B23K20/02;B23K20/14;B23K20/233;C22F1/04;C23G1/12;B23K103/10 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 鋁靶材 組件 降低 背板 變形 焊接 方法 | ||
1.一種降低鋁靶材組件中背板變形的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：提供鋁靶材和鋁背板；
將鋁靶材和得到的鋁背板進行裝配并放入包套中，之后依次進行抽真空、脫氣及熱等靜壓處理，得到所述鋁靶材組件；
所述鋁背板為鍛打后鋁背板依次經(jīng)熱處理和酸洗干燥后得到的背板。
2.如權(quán)利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述熱處理的溫度為470-500℃；
優(yōu)選地，所述熱處理的保溫時間為50-70min。
3.如權(quán)利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，所述熱處理后經(jīng)空冷至室溫。
4.如權(quán)利要求1-3任一項所述的焊接方法，其特征在于，所述酸洗的酸洗液為氫氟酸、硝酸和水的混合溶液；
優(yōu)選地，所述混合溶液中氫氟酸、硝酸和水的體積比為(0.5-1.5):(2.5-3.5):(3.5-4.5)。
5.如權(quán)利要求1-4任一項所述的焊接方法，其特征在于，所述酸洗的時間為0.5-1.5min。
6.如權(quán)利要求1-5任一項所述的焊接方法，其特征在于，所述抽真空的終點為真空度小于0.001Pa。
7.如權(quán)利要求1-6任一項所述的焊接方法，其特征在于，所述脫氣的溫度為150-250℃；
優(yōu)選地，所述脫氣的壓強為0.001-0.002Pa；
優(yōu)選地，所述脫氣的時間為4.5-5.5h。
8.如權(quán)利要求1-7任一項所述的焊接方法，其特征在于，所述熱等靜壓處理的溫度為250-270℃；
優(yōu)選地，所述熱等靜壓處理的壓強≥100MPa；
優(yōu)選地，所述熱等靜壓處理的時間為4.5-5h。
9.如權(quán)利要求1-7任一項所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：提供鋁靶材和鋁背板；
將鋁靶材和得到的鋁背板進行裝配并放入包套中，之后依次進行抽真空、脫氣及熱等靜壓處理，得到所述鋁靶材組件；
所述鋁背板為鍛打后鋁背板依次經(jīng)熱處理和酸洗干燥后得到的背板；
其中，所述熱處理的溫度為470-500℃；所述熱處理的保溫時間為50-70min；所述熱處理后經(jīng)空冷至室溫；所述酸洗的酸洗液為氫氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述混合溶液中氫氟酸、硝酸和水的體積比為(0.5-1.5):(2.5-3.5):(3.5-4.5)；所述酸洗的時間為0.5-1.5min；所述抽真空的終點為真空度小于0.001Pa；所述脫氣的溫度為150-250℃；所述脫氣的壓強為0.001-0.002Pa；所述脫氣的時間為4.5-5.5h；所述熱等靜壓處理的溫度為250-270℃；所述熱等靜壓處理的壓強≥100MPa；所述熱等靜壓處理的時間為4.5-5h。
10.一種如權(quán)利要求1-9任一項所述焊接方法得到的鋁靶材組件，其特征在于，所述鋁靶材組件中背板的硬度為100-130HV，電導率為25-28MS/m。
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