[發明專利]一種蒸鍍坩堝

有效

• 申請號: 202010478086.4
• 申請日: 2020-05-29
• 公開（公告）號: CN111424240B
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 張雪峰;陳聞凱;趙景訓;黃永振;陳雷行;張紅信;衛勇勇;王曉強;賈凱;滕鑫;賀斌露
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京布瑞知識產權代理有限公司 11505
• 代理人: 李浩

本發明實施例提供了一種蒸鍍坩堝，包括：坩堝本體；以及設置在所述坩堝本體的坩堝槽內的至少一個緩沖板，至少一個所述緩沖板沿所述坩堝本體寬度方向放置，其中所述緩沖板包括擋片和與所述擋片表面連接的至少一個彈簧，至少一個所述彈簧可以沿所述坩堝本體長度方向被拉伸或壓縮。本申請解決了由于在蒸鍍過程中需要交替移動使用坩堝，且在移動的過程中會加速從而導致坩堝內的有機熔融材料發生劇烈的晃動震蕩，使得蒸鍍膜厚度不一致，影響產品性能的問題。

技術領域

本發明涉及蒸鍍工藝技術領域，具體涉及一種蒸鍍坩堝。

背景技術

隨著顯示技術日新月異的發展，在顯示設備中OLED(Organic light emittingdiode，有源矩陣發光二極管)顯示屏成為當下高端智能產品追求采用的熱點。在制備OLED時，需要利用坩堝將有機熔融材料蒸鍍到OLED基板上，而在蒸鍍過程中，需要交替移動使用坩堝，而在坩堝的移動過程中，由于移動加速導致坩堝內的有機熔融材料發生劇烈的晃動震蕩，導致蒸鍍膜厚度不一致，從而影響產品性能。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例提供了一種蒸鍍坩堝，解決了由于在蒸鍍過程中需要交替移動使用坩堝，且在移動的過程中會加速從而導致坩堝內的有機熔融材料發生劇烈的晃動震蕩，使得蒸鍍膜厚度不一致，影響產品性能的問題。

本發明一實施例提供的一種蒸鍍坩堝包括：坩堝本體；以及設置在所述坩堝本體的坩堝槽內的至少一個緩沖板，至少一個所述緩沖板沿所述坩堝本體寬度方向放置，其中所述緩沖板包括擋片和與所述擋片表面連接的至少一個彈簧，至少一個所述彈簧可以沿所述坩堝本體長度方向被拉伸或壓縮。

在一種實施方式中，所述擋片上開設有多個第一穿孔。可以保證熔融材料的流動性，在坩堝移動的過程中，是熔融材料可以在多個空間內相互流動，平衡每個空間內熔融材料的體積。

在一種實施方式中，所述坩堝本體包括1～20個所述坩堝槽，其中每個所述坩堝槽內放置1～10個所述緩沖板。可保證熔融材料可移動的空間明顯縮小，從而對熔融材料的晃動起到了緩沖和穩定的作用，進而提高了蒸鍍膜厚度一致性，提升了產品的性能。

在一種實施方式中，1～10個所述緩沖板沿所述坩堝本體寬度方向放置，其中1～10個所述緩沖板沿所述坩堝本體長度方向將所述坩堝槽的內部空間對應分割成2～11個均等的空間。

在一種實施方式中，所述均等的空間內分別設置有至少一個所述彈簧，其中至少一個所述彈簧可以沿所述坩堝本體長度方向被拉伸或壓縮。

在一種實施方式中，所述彈簧的長度小于等于所述空間的長度。

在一種實施方式中，進一步包括坩堝蓋帽，蓋在所述坩堝本體的上方；以及多個坩堝噴嘴，貫穿設置在所述坩堝蓋帽上。

在一種實施方式中，所述坩堝噴嘴在所述坩堝蓋帽遠離所述坩堝本體一側的長度為2～15mm；所述坩堝噴嘴在所述坩堝蓋帽靠近所述坩堝本體一側的長度為5～20mm。可以防止由于噴嘴溫度過低，熔融材料到達噴嘴表面將噴嘴堵住的問題。

在一種實施方式中，所述坩堝蓋帽進一步包括：中板，設置在所述坩堝噴嘴靠近所述坩堝的一側，其中所述中板上設置多個第二穿孔，多個所述第二穿孔和多個所述坩堝噴嘴分別對應設置。可以防止熔融材料在噴嘴外表面冷卻凝固，進而防止噴嘴的堵孔問題，有利于熔融材料沉積時的均一性和穩定性。

在一種實施方式中，所述中板的材質為以下材質中的一種或多種：鈦合金、鉭合金和陶瓷。能夠保證中板在蒸鍍過程中不易發生變形和變質的問題。