[發(fā)明專利]一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010475372.5
• 申請日: 2020-05-29
• 公開（公告）號: CN111682103A
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張婷;程晨;肖倩;朱建華;施威;王東;胡利華
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳振華富電子有限公司
• 主分類號: H01L41/29
• 分類號: H01L41/29;H01L41/293
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414
• 代理人: 徐漢華

1.一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于，包括：

開孔：在電極片上間隔開設(shè)若干通孔；

電極片點焊：使用點焊機在壓電驅(qū)動器堆棧的一對外電極銀層上分別點焊電極片；

引線點焊：使用所述點焊機在各所述電極片上點焊引線；

點膠固化：使用點膠機向各所述通孔中灌輸固化膠。

2.如權(quán)利要求1所述的一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于，所述壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法包括以下步驟：

制備：將多個芯片式壓電驅(qū)動器單元通過壓合或粘結(jié)的方式固定成型為壓電驅(qū)動器堆棧體；

被銀：在所述壓電驅(qū)動器堆棧體的一對內(nèi)電極引出側(cè)面分別進行被銀處理以形成所述外電極銀層；

極化：將被銀后的所述壓電驅(qū)動器堆棧體置于硅油中極化后得到所述壓電驅(qū)動器堆棧。

3.如權(quán)利要求2所述的一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于，所述壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法還包括：

排膠：將通過壓合方式固定成型的所述壓電驅(qū)動器堆棧體置于排膠爐中進行排膠，所述排膠步驟位于所述制備步驟與所述被銀步驟之間；

或者，排膠：將各所述芯片式壓電驅(qū)動器單元置于所述排膠爐中進行排膠，所述排膠步驟位于所述制備步驟之前。

4.如權(quán)利要求3所述的一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于，所述壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法還包括：

燒結(jié)：將通過壓合方式固定成型且排膠后的所述壓電驅(qū)動器堆棧體置于燒結(jié)爐中進行燒結(jié)，所述燒結(jié)步驟位于所述排膠步驟與所述被銀步驟之間；

或者，燒結(jié)：將排膠后的各所述芯片式壓電驅(qū)動器單元置于所述燒結(jié)爐中進行燒結(jié)，所述燒結(jié)步驟設(shè)于所述排膠步驟與所述制備步驟之間。

5.如權(quán)利要求3所述的一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于：于所述排膠步驟中，排膠升溫制度為：設(shè)定初始溫度范圍為60℃-80℃，加熱20h-30h，溫度上升至200℃-250℃保溫；繼續(xù)加熱25h-35h，溫度上升至300℃-350℃保溫；繼續(xù)加熱15h-25h，溫度上升至400℃-450℃保溫；繼續(xù)加熱2h-10h至峰值溫度600℃保溫。

6.如權(quán)利要求2-5任一項所述的一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于：各所述芯片式壓電驅(qū)動器單元為由壓電陶瓷材料與電極漿料共燒制成的疊層結(jié)構(gòu)。

7.如權(quán)利要求2-5任一項所述的一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于：各所述電極片包括分別與各所述芯片式壓電驅(qū)動器單元上對應(yīng)所述外電極銀層連接的導(dǎo)電片和連接相鄰兩個所述導(dǎo)電片的導(dǎo)電連接片，各所述導(dǎo)電片上開設(shè)有所述通孔。

8.如權(quán)利要求7所述的一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于：各所述引線的一端與對應(yīng)所述電極片的一個所述導(dǎo)電片連接。

9.如權(quán)利要求7所述的一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于：各所述導(dǎo)電片為圓環(huán)。

10.如權(quán)利要求7所述的一種帶電極片式壓電驅(qū)動器堆棧的制備方法，其特征在于：所述導(dǎo)電片的寬度大于所述導(dǎo)電連接片的寬度。