[發(fā)明專利]光偏轉(zhuǎn)器及光掃描裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010473622.1
• 申請(qǐng)日: 2020-05-29
• 公開（公告）號(hào): CN112034614A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宮地護(hù)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 斯坦雷電氣株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02B26/08
• 分類號(hào): G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 朱麗娟;崔成哲

本發(fā)明提供一種光偏轉(zhuǎn)器及光掃描裝置。該光偏轉(zhuǎn)器等能夠避免偏轉(zhuǎn)角檢測(cè)用的光傳感器的長大化并能夠檢測(cè)出鏡部的任意的偏轉(zhuǎn)角。光偏轉(zhuǎn)器(3)具備鏡部(30)和致動(dòng)器(32a～32d)，鏡部(30)具有均反射入射光的平坦反射面(38)和槽型反射面(39)；致動(dòng)器(32a～32d)使鏡部(30)繞旋轉(zhuǎn)軸(36)往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)。槽型反射面(39)具有與旋轉(zhuǎn)軸(36)平行地延伸設(shè)置的多個(gè)縱槽(41)。各縱槽(41)具有與旋轉(zhuǎn)軸(36)平行的對(duì)置傾斜面(42a，42b)，對(duì)置傾斜面(42a，42b)具有V槽的對(duì)置傾斜面的至少開口側(cè)部分。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光偏轉(zhuǎn)器及光掃描裝置。

背景技術(shù)

已知有MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)光偏轉(zhuǎn)器及具備該光偏轉(zhuǎn)器的光掃描裝置(例如參照日本公開公報(bào)JP2006－243225A以及日本公開公報(bào)JP2011－118178A)。MEMS的光偏轉(zhuǎn)器具備繞旋轉(zhuǎn)軸往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)的鏡部，將來自光源的光向與鏡部的偏轉(zhuǎn)角對(duì)應(yīng)的方向反射，并使反射光作為掃描光射出。

掃描光的掃描范圍以及掃描位置根據(jù)鏡部的偏轉(zhuǎn)角而發(fā)生變化。因此，為了適當(dāng)?shù)乜刂茠呙璺秶膾呙韫猓枰獧z測(cè)鏡部的偏轉(zhuǎn)角。

日本公開公報(bào)JP2006－243225A的光掃描裝置在鏡部來到偏轉(zhuǎn)范圍的端部時(shí)的反射光的射出方向上具備光傳感器。由此，當(dāng)鏡部偏轉(zhuǎn)到偏轉(zhuǎn)角范圍的端部的規(guī)定偏轉(zhuǎn)角時(shí)，通過光傳感器檢測(cè)到反射光。

在日本公開公報(bào)JP2011－118178A的光掃描裝置中，鏡部的反射面由衍射光柵形成。在該光掃描裝置中，從鏡部射出的0級(jí)的衍射光本來用于掃描光的用途。與此相對(duì)，1次衍射光用于入射到受光元件而檢測(cè)偏轉(zhuǎn)角。

日本公開公報(bào)JP2006－243225A的光掃描裝置僅能夠檢測(cè)出反射光來到偏轉(zhuǎn)寬幅的端部時(shí)所對(duì)應(yīng)的鏡部的偏轉(zhuǎn)角。

日本公開公報(bào)JP2011－118178A的光掃描裝置能夠根據(jù)1次衍射光的強(qiáng)度來檢測(cè)鏡部的各種任意的偏轉(zhuǎn)角。但是，1次衍射光從光偏轉(zhuǎn)器射出的射出方向?qū)?yīng)于鏡部的偏轉(zhuǎn)角發(fā)生變化。因此，為了檢測(cè)鏡部的偏轉(zhuǎn)寬幅內(nèi)的各偏轉(zhuǎn)角，需要光傳感器具有與1次衍射光的偏轉(zhuǎn)寬幅對(duì)應(yīng)的長度，從而導(dǎo)致長大化。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠避免偏轉(zhuǎn)角檢測(cè)用的光傳感器的長大化且能夠檢測(cè)鏡部的任意偏轉(zhuǎn)角的光偏轉(zhuǎn)器及光掃描裝置。

本發(fā)明的光偏轉(zhuǎn)器的特征在于，具備：

鏡部，具有均反射入射光的平坦反射面和槽型反射面，和

第1致動(dòng)器，其使所述鏡部繞第1旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，

所述槽型反射面具有與所述第1旋轉(zhuǎn)軸平行地延伸設(shè)置的多個(gè)縱槽，

各縱槽具有與所述第1旋轉(zhuǎn)軸平行的對(duì)置傾斜面，該對(duì)置傾斜面帶有V槽的對(duì)置傾斜面的至少開口側(cè)部分。

根據(jù)本發(fā)明，光偏轉(zhuǎn)器在鏡部具備槽型反射面，并從槽型反射面射出2次反射光。繞第1旋轉(zhuǎn)軸的2次反射光的射出方向固定而與鏡部繞第1旋轉(zhuǎn)軸的偏轉(zhuǎn)角無關(guān)。另外，從槽型反射面的各縱槽射出的2次反射光相互干涉，因此，2次反射光的強(qiáng)度對(duì)應(yīng)于鏡部的偏轉(zhuǎn)角而發(fā)生變化。

這樣，能夠避免偏轉(zhuǎn)角檢測(cè)用的光傳感器的長大化，并能夠檢測(cè)出鏡部的任意的偏轉(zhuǎn)角。

在本發(fā)明的光偏轉(zhuǎn)器中，優(yōu)選的是，所述V槽的兩對(duì)置傾斜面成為相對(duì)于基準(zhǔn)底面是彼此相等的傾斜角，所述基準(zhǔn)底面通過所述V槽的谷線且與所述平坦反射面平行。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠提高2次反射光的強(qiáng)度。

在本發(fā)明的光偏轉(zhuǎn)器中，優(yōu)選的是，所述縱槽的對(duì)置傾斜面形成為除去所述V槽的底部后的形狀。