[發(fā)明專利]適用于易氧化陶瓷材料的SEM樣品制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010469597.X | 申請(qǐng)日： | 2020-05-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111474033A | 公開（公告）日： | 2020-07-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙婷婷;張昱;顧輝;邢娟娟;姜穎 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01N1/32 | 分類號(hào)： | G01N1/32;G01Q30/20 |
| 代理公司： | 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253 | 代理人： | 馮子玲 |
| 地址： | 200444*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 適用于 氧化 陶瓷材料 sem 樣品 制備 方法 | ||
1.一種適用于易氧化陶瓷材料的SEM樣品制備方法，其特征在于，至少包括如下步驟：
采用酒精作為介質(zhì)，采用至少兩張不同粗糙度的砂紙，依照所述砂紙的粗糙度由大到小的順序，對(duì)所述易氧化陶瓷材料進(jìn)行表面機(jī)械拋光；
將拋光完畢的樣品至于酒精中保存，以供SEM使用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于易氧化陶瓷材料的SEM樣品制備方法，其特征在于，依次選取6μm砂紙拋光2min，3μm砂紙拋光2min，1μm砂紙拋光5min，0.5μm砂紙拋光10min。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的適用于易氧化陶瓷材料的SEM樣品制備方法，其特征在于，所述易氧化陶瓷材料為L(zhǎng)i6.4La3Zr1.4Ta0.6O12材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于易氧化陶瓷材料的SEM樣品制備方法，其特征在于，依次選取1μm砂紙拋光30min，0.5μm砂紙拋光30min。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于易氧化陶瓷材料的SEM樣品制備方法，其特征在于，在所述采用酒精作為介質(zhì)的表面機(jī)械拋光步驟之前，還包括如下步驟：
采用水作為介質(zhì)，所述易氧化陶瓷材料進(jìn)行表面機(jī)械拋光。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于易氧化陶瓷材料的SEM樣品制備方法，其特征在于，在所述采用酒精作為介質(zhì)的表面機(jī)械拋光步驟之前，還包括如下步驟：
采用震動(dòng)拋光機(jī)進(jìn)行15～30min震動(dòng)拋光。
7.根據(jù)權(quán)利要求4至6中任意一項(xiàng)所述的適用于易氧化陶瓷材料的SEM樣品制備方法，其特征在于，
所述易氧化陶瓷材料為Mn0.15Mg0.15Sb2材料。
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