[發明專利]處理工件的方法和處理工件的系統

在審

• 申請號: 202010469579.1
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN112017995A
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 星野仁志;扎米米爾·阿吉羅夫;湯平泰吉;卡爾·海因茲·普里瓦瑟
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/78;B23K26/122;B23K26/352;B23K26/70
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 王皓

1.一種處理工件(2、102)的方法，所述工件(2、102)具有第一表面(4、104)、與所述第一表面(4、104)相對的第二表面(6、106)、和在所述第一表面(4、104)與所述第二表面(6、106)之間延伸的第三表面(8、108)，其中，所述方法包括：

在所述工件(2、102)內側形成修改區域(16)，以便在所述工件(2、102)中創建開口(18)，所述開口(18)延伸至所述第一表面(4、104)、所述第二表面(6、106)和所述第三表面(8、108)的至少一個；

在所述工件(2、102)內側形成所述修改區域(16)之后，將液體介質(20、120)引入到至少一些所述開口(18)中；以及

在將所述液體介質(20、120)引入到所述至少一些所述開口(18)中之后，將外部刺激施用至所述液體介質(20、120)，以便增加所述介質(20、120)的體積。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，在所述工件(2、102)內側形成所述修改區域(16)包括將激光束(LB)施用至所述工件(2、102)，或由將激光束(LB)施用至所述工件(2、102)組成。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，所述工件(2、102)由對所述激光束(LB)透明的材料制成；并且在所述激光束(LB)的焦點位于所述工件(2、102)內側的情況下，或者在所述激光束(LB)的所述焦點位于所述第一表面(4、104)上、所述第二表面(6、106)上、或所述第三表面(8、108)上的情況下，將所述激光束(LB)施用至所述工件(2、102)。

4.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，將所述外部刺激施用至所述液體介質(20、120)包括加熱所述液體介質(20、120)或冷卻所述液體介質(20、120)，或由加熱所述液體介質(20、120)或冷卻所述液體介質(20、120)組成。

5.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，將所述外部刺激施用至所述液體介質(20、120)包括將電場和/或磁場施用至所述液體介質(20、120)，或由將電場和/或磁場施用至所述液體介質(20、120)組成。

6.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，將所述外部刺激施用至所述液體介質(20、120)誘導所述液體介質(20、120)的相變，以便增加所述介質(20、120)的體積。

7.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述開口(18)是所述工件中的裂紋。

8.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，通過將所述液體介質(20、120)或所述液體介質(20、120)的蒸汽施用至所述開口(18)延伸到的所述第一表面(4、104)、所述第二表面(6、106)和所述第三表面(8、108)的至少一個，來將所述液體介質(20、120)引入到所述至少一些所述開口(18)中，使得至少一部分所述液體介質(20、120)至少部分地進入到所述開口(18)中。

9.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述液體介質(20、120)是水。

10.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述液體介質(20、120)包含表面活性劑。

11.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其中，所述修改區域(16)包括無定型區域或形成有裂紋的區域、或者是無定型區域或形成有裂紋的區域。

12.一種處理工件(2、102)的系統，所述工件(2、102)具有第一表面(4、104)、與所述第一表面(4、104)相對的第二表面(6、106)、和在所述第一表面(4、104)與所述第二表面(6、106)之間延伸的第三表面(8、108)，其中，所述系統包括：

修改區域形成裝置，其配置為在所述工件(2、102)內側形成修改區域(16)，以便在所述工件(2、102)中創建開口(18)，所述開口(18)延伸至所述第一表面(4、104)、所述第二表面(6、106)和所述第三表面(8、108)的至少一個；

液體介質供應裝置，其配置為將液體介質(20、120)引入到至少一些所述開口(18)中；以及

外部刺激施用裝置，其配置為將外部刺激施用至被引入到所述至少一些所述開口(18)中的所述液體介質(20、120)，以便增加所述介質(20、120)的體積。