[發明專利]碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法

在審

• 申請號: 202010466045.3
• 申請日: 2020-05-27
• 公開（公告）號: CN111647857A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 文崇斌;余芳;朱劉;童培云
• 申請（專利權）人: 先導薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/06;C23C14/08
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將碲化鎘薄膜電池殘靶進行預處理，破碎、過篩后，得到殘靶粉末；

(2)將步驟(1)的殘靶粉末加入到碲化鎘薄膜電池靶材新粉中，球磨，得到混合粉末；

(3)將步驟(2)的混合粉末進行真空熱壓燒結，得到碲化鎘薄膜電池靶材。

2.根據權利要求1所述的碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，所述步驟(2)中，殘靶粉末的加入量為碲化鎘薄膜電池靶材新粉的質量的10％～25％。

3.根據權利要求1所述的碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，所述步驟(2)中，球磨的時間為5～8h。

4.根據權利要求1所述的碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，所述步驟(1)中，所述預處理包括對碲化鎘薄膜電池殘靶進行打磨、酸洗、超聲水洗和烘干。

5.根據權利要求4所述的碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，所述碲化鎘薄膜電池殘靶的濺射面的打磨深度為1～2mm，非濺射面的打磨深度為2～3mm。

6.根據權利要求4所述的碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，所述酸洗的具體方法為：采用質量濃度為5％～10％的硝酸浸泡20～30min。

7.根據權利要求4所述的碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，所述超聲水洗的時間為5～10min。

8.根據權利要求1所述的碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，所述殘靶粉末的粒度小于100目。

9.根據權利要求1所述的碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，所述真空熱壓燒結具體為：在真空的條件下加熱，溫度升至500℃～900℃時，進行保溫，保溫10～50min后，開始保溫加壓，保溫加壓的壓力為10～40MPa，保溫加壓20～40min后，保溫降壓。

10.根據權利要求1-9任一項所述的碲化鎘薄膜電池殘靶重復利用的方法，其特征在于，所述碲化鎘薄膜電池靶材包括碲化鎘靶材、碲鋅鎘靶材、碲化鋅靶材、氧化鎘靶材或錫酸鎘靶材。