[發明專利]晶圓可沖洗的晶圓電鍍設備

在審

• 申請號: 202010462975.1
• 申請日: 2020-05-27
• 公開（公告）號: CN111593391A
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 王振榮;劉紅兵
• 申請（專利權）人: 上海新陽半導體材料股份有限公司
• 主分類號: C25D7/12
• 分類號: C25D7/12;C25D17/00;C25D17/02;C25D17/06;C25D21/10;C25D5/48
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

1.晶圓可沖洗的晶圓電鍍設備，其特征在于，包括：

電鍍液槽，所述電鍍液槽的內壁設置有收集槽；

蓋子，所述蓋子蓋接在所述電鍍液槽上；

晶圓，所述晶圓可旋轉地安裝在所述蓋子上；

第一驅動機構，用于驅動所述晶圓旋轉；

噴頭，所述噴頭設置在所述電鍍槽液上，用于向所述晶圓表面噴水；

當所述噴頭向所述晶圓表面噴水時，所述第一驅動機構驅動所述晶圓旋轉，使所述晶圓表面的噴水甩出并收集在所述收集槽中。

2.根據權利要求1所述的晶圓電鍍設備，其特征在于：

所述收集槽設置有開口，所述開口與所述晶圓在徑向上位置相對；

所述收集槽由所述開口沿軸向朝所述電鍍液槽內部延伸設置。

3.根據權利要求1所述的晶圓電鍍設備，其特征在于：

所述噴頭安裝在所述電鍍槽液的內壁上；所述噴頭的噴水方向相對于所述晶圓表面傾斜設置。

4.根據權利要求1所述的晶圓電鍍設備，其特征在于：

所述蓋子包括晶圓夾持件；所述晶圓固定安裝在所述晶圓夾持件上；

所述第一驅動機構包括第一傳動軸，所述晶圓夾持件周向固定在所述第一傳動軸上；

所述第一驅動機構被配置為用于帶動所述第一傳動軸旋轉，從而帶動所述晶圓夾持機構周向旋轉。

5.根據權利要求4所述的晶圓電鍍設備，其特征在于：

所述第一驅動機構包括第一旋轉電機、第一主動輪、第二從動輪；

所述第一主動輪周向固定在所述第一旋轉電機的第一輸出軸上；

所述第一傳動軸周向固定在所述從動輪上；

所述第一主動輪通過傳動帶帶動所述第一從動輪旋轉。

6.根據權利要求4所述的晶圓電鍍設備，其特征在于，還包括：

第二驅動機構，所述第二驅動機構被配置為用于驅動所述晶圓夾持件和所述晶圓沿軸向移動，并能帶動所述晶圓從電鍍位置沿軸向移動至沖洗位置；

在所述的電鍍位置，所述晶圓浸在所述電鍍液槽的電鍍液中；

在所述的沖洗位置，所述晶圓軸向移動至脫離所述電鍍液槽的電鍍液，以被所述噴頭噴水清洗。

7.根據權利要求6所述的晶圓電鍍設備，其特征在于：

所述第二驅動機構與所述第一傳動軸傳動連接，用于帶動所述第一傳動軸沿軸向移動，從而帶動所述晶圓夾持件沿軸向移動。

8.根據權利要求7所述的晶圓電鍍設備，其特征在于：

所述第二驅動機構包括第二旋轉電機、第二主動輪、第二從動輪和軸承座；

所述第二從動輪軸向固定在所述安裝座上；所述軸承座周向固定在所述安裝座上；所述軸承座通過軸承套設在所述第一傳動軸上；

所述第二旋轉電機的第二輸出軸周向固定在所述第二主動輪上，用于帶動所述第二主動輪旋轉；

所述第二主動輪與所述第二從動輪相嚙合，用于帶動所述第二從動輪旋轉；

所述從動輪設置有內螺紋，所述軸承座設置有外螺紋；所述第二從動輪的內螺紋套設在所述軸承座的外螺紋上，用于帶動所述軸承座和所述第一傳動軸沿軸向移動。

9.根據權利要求8所述的晶圓電鍍設備，其特征在于：

所述第二旋轉電機安裝在所述安裝座上；

所述軸承座上固定連接有頂固定板，所述頂固定板上設置有第一導向件；

所述安裝座上設置有第二導向件，所述第二導向件與所述第一導向件相配合以限定所述軸承座沿軸向移動。

10.根據權利要求9所述的晶圓電鍍設備，其特征在于：

所述第一導向件的數量至少有兩個；

所述第二導向件的數量與所述第一導向件的數量相等，且分別對應；

所述第二導向件與對應所述第一導向件相配合，從而周向固定所述軸承座。