[發(fā)明專利]激光直接成像設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010445965.7
• 申請日: 2020-05-25
• 公開（公告）號: CN111505916B
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龔雙平;陳國軍;馬迪;吳景舟
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇迪盛智能科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 周衛(wèi)賽

本發(fā)明涉及曝光技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種激光直接成像設(shè)備，包括：工作臺，工作臺的臺面設(shè)置有通孔，通孔內(nèi)設(shè)置有帶透光孔的遮光片；激光裝置，設(shè)置在工作臺的臺面下方并且激光裝置的出光口對準通孔，用于通過通孔向曝光件發(fā)出光線形成對準標記，其中，激光裝置的出光光斑面積大于透光孔的橫截面面積，對準標記的大小與透光孔的大小一致；圖像采集裝置，設(shè)置在工作臺上方，用于采集曝光件上的對準標記；計算機設(shè)備，與圖像采集裝置連接，用于根據(jù)圖像采集裝置采集到的對準標記計算曝光件的對準誤差。該設(shè)備解決了傳統(tǒng)激光成像設(shè)備套筒與通孔中心不對準時導(dǎo)致的曝光圖形不完整的現(xiàn)象，從而使得曝光件的雙面曝光對準更加準確。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及曝光技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種激光直接成像設(shè)備。

背景技術(shù)

印制電路板(Printed?circuit?boards，簡稱PCB)，是電子工業(yè)的重要部件之一，由于其面積小、易于集成、密集度高等特點被廣泛的應(yīng)用于各種電子設(shè)備中。PCB板一般分為單面板和雙面板，單面板通常是利用網(wǎng)版印刷法或光成像法在PCB板表面制作電路圖形，雙面板有正反兩層電路圖形，通過鍍銅導(dǎo)通孔將正反兩面的電路圖形導(dǎo)通，若正反兩面的電路圖形出現(xiàn)偏移，則會出現(xiàn)誤導(dǎo)通或非導(dǎo)通現(xiàn)象，直接造成雙面板報廢，因此，對于雙面板正反兩面的圖形對準是PCB板制造過程中最重要的工藝環(huán)節(jié)之一。目前，在進行曝光對準的過程中，激光成像設(shè)備通常在出光口設(shè)置有套筒，如圖1所示，光源從套筒發(fā)出并經(jīng)過工作臺臺面照射到曝光件上。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，上述方式對套筒與工作臺的通孔的對準精度要求極高，當套筒與工作臺的通孔的位置關(guān)系存在細微偏差時(如圖1所示)，容易導(dǎo)致曝光顯影的標記圖形不完整，如圖2所示，出現(xiàn)邊緣發(fā)黑的情況，最終導(dǎo)致對準的精度降低。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明實施例提供了一種激光直接成像設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于套筒與工作臺的通孔容易出現(xiàn)對準偏差導(dǎo)致曝光顯影的標記圖形不完整的問題。

本發(fā)明實施例提供了一種激光直接成像設(shè)備，包括：工作臺，所述工作臺的臺面設(shè)置有通孔，所述通孔內(nèi)設(shè)置有帶透光孔的遮光片；激光裝置，設(shè)置在所述工作臺的臺面下方并且所述激光裝置的出光口對準所述通孔，用于通過所述通孔向曝光件發(fā)出光線形成對準標記，其中，所述激光裝置的出光光斑面積大于所述透光孔的橫截面面積，所述對準標記的大小與所述透光孔的大小一致；圖像采集裝置，設(shè)置在所述工作臺上方，用于采集曝光件上的對準標記；計算機設(shè)備，與所述圖像采集裝置連接，用于根據(jù)所述圖像采集裝置采集到的對準標記計算曝光件的對準誤差。

本發(fā)明實施例提供的激光直接成像設(shè)備，工作臺具有通孔，該通孔內(nèi)設(shè)有帶透光孔的遮光片，激光裝置出光口發(fā)出的光線經(jīng)所述帶透光孔的遮光片，照射在曝光件上，無需采用套筒，即可在所述曝光件上形成與所述遮光片上透光孔圖形相同的標記，不會因為套筒與通孔的位置未能對準而導(dǎo)致對準標記的圖形不完整，相對于現(xiàn)有技術(shù)而言，在沒有使用套筒的基礎(chǔ)上，避免了對準標記圖形不完整的問題，達到了標記圖形更完整的技術(shù)效果，使得所述曝光件的曝光對準精確度更高。

可選地，所述出光口處不設(shè)套筒。

本發(fā)明實施例提供的激光直接成像設(shè)備，不在出光口設(shè)置套筒，可以最大程度利用激光裝置發(fā)出的光線，不僅避免了因為套筒導(dǎo)致的曝光圖形不完整現(xiàn)象，更重要的是，還避免了對激光裝置發(fā)出光線的浪費。

可選地，所述通孔為階梯狀通孔，所述階梯狀通孔的上端開設(shè)有嵌入槽，所述遮光片可拆卸地嵌入在所述嵌入槽內(nèi)。

本發(fā)明實施例提供的激光直接成像設(shè)備，將通孔設(shè)計為階梯狀通孔，在所述階梯狀通孔的上端設(shè)有嵌入槽，該嵌入槽內(nèi)可放置遮光片，結(jié)構(gòu)緊湊、設(shè)計合理，能夠保證在曝光對準過程中，所述遮光片不會因為曝光件的位置移動或其他外界因素導(dǎo)致的位置偏移現(xiàn)象，使得所述曝光件的曝光對準更加準確。

可選地，所述激光裝置設(shè)置有凸緣結(jié)構(gòu)，所述凸緣結(jié)構(gòu)上設(shè)置有螺孔，在所述螺孔內(nèi)所述激光裝置通過螺釘鎖合固定在所述工作臺上。